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パーティクル検査装置 YPI-Nシリーズ (自動搬送) YPI-N-XYA／YPI-N-ΘA-YPI-N-XYA／YPI-N-ΘA
パーティクル検査装置 YPI-Nシリーズ (自動搬送) YPI-N-XYA／YPI-N-ΘA-ファーストゲート株式会社

パーティクル検査装置 YPI-Nシリーズ (自動搬送) YPI-N-XYA／YPI-N-ΘA
ファーストゲート株式会社

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この製品について

■ウェハ表面検査装置

・鏡面基板 (シリコンウェハ等) の表面異物を高速にスキャン。 ・小型基板 (2インチ、3インチ) から8インチウェハまで幅広く測定可能です。

  • シリーズ

    パーティクル検査装置 YPI-Nシリーズ (自動搬送) YPI-N-XYA／YPI-N-ΘA

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パーティクル検査装置 YPI-Nシリーズ (自動搬送) YPI-N-XYA／YPI-N-ΘA 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応基板サイズ スキャン方式 スループット ワーク設置 装置外形寸法 本体重量 消費電力 検査対象基板 最小検出感度 メーカー名
パーティクル検査装置 YPI-Nシリーズ (自動搬送) YPI-N-XYA／YPI-N-ΘA-品番-YPI-N-XYA／YPI-N-ΘA

YPI-N-XYA／YPI-N-ΘA

要見積もり

最大200mm×200mm
(200mm以上の場合はご相談ください)

X-Yスキャン／Θ-Xスキャン (螺旋スキャン)

200mmを約4分／Φ200mmを約3分
(高速スキャン対応可能)

搬送ロボット (裏面吸着／エッジクランプ)

W1,320mm×D1,000mm×H1,700mm

約800kg

約1.5kW (100V)

Siウェハ、各種膜付きウェハ

Siウェハ時、0.1μm

YGK

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測定粒径サイズ μm

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 25 25 - 30 30 - 100

計数効率 %

30 - 50 50 - 100 100 - 110

サンプリング流量 L/min

0 - 1 1 - 3 3 - 100 100 - 110

光源

レーザーダイオード 半導体レーザー 固体レーザー

ゼロカウントレベル count/分

0 - 0.01 0.01 - 0.02 0.02 - 0.4

使用環境温度 ℃

0 - 5 5 - 10 10 - 35 35 - 40

使用環境湿度 %RH

20 - 30 30 - 70 70 - 90 90 - 100

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パーティクルカウンター
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ファーストゲート株式会社

会社概要

ファーストゲート株式会社は「世界でオンリーワン・ナンバーワンのハイエンドな製品をご提供する」をモットーに半導体製造装置における流体制御コンポーネント部品の販売を主な事業内容とする企業です。
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