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パーティクル検査装置 YPI－MN-YPI－MN
パーティクル検査装置 YPI－MN-ファーストゲート株式会社

パーティクル検査装置 YPI－MN
ファーストゲート株式会社

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この製品について

■小型・高機能ウェハ表面検査装置

・表面パーティクルスキャナ。新開発の高機能・省スペースタイプ。 ・小型省スペースながら最小検出粒径は0.15μmの高精度、使用形態に合わせて移動可能な小型表面検査装置です。 ・オプション機能として、透明基板対応用表裏一体分離機能 (裏面の影響を排除して表面の測定を実施) 及び検出粒子を目視可能な顕微鏡搭載機を準備しました。 ・測定結果は、検出マップ・サイズ別粒子数及びヒスト、異物画像を付属のP/Cに表示・記録可能です。

  • シリーズ

    パーティクル検査装置 YPI－MN

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パーティクル検査装置 YPI－MN 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ワークサイズ 最小検出粒径 (ベアSi PSL粒子) 使用レーザー／検出ユニット スキャン方式 ワーク供給方法 装置サイズ (幅×奥行×高さ) 装置重量 電源 メーカー名
パーティクル検査装置 YPI－MN-品番-YPI－MN

YPI－MN

要見積もり

最大200×200、Φ200 (mm)

0.15μm

405nm (青色レーザー) 及びフォトマル (PMT)

X-Y

マニュアル

W490×D540×H870 (mm) P/C別

50kg (P/C除く)

AC100V 500W

YGK

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測定粒径サイズ μm

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 25 25 - 30 30 - 100

計数効率 %

30 - 50 50 - 100 100 - 110

サンプリング流量 L/min

0 - 1 1 - 3 3 - 100 100 - 110

光源

レーザーダイオード 半導体レーザー 固体レーザー

ゼロカウントレベル count/分

0 - 0.01 0.01 - 0.02 0.02 - 0.4

使用環境温度 ℃

0 - 5 5 - 10 10 - 35 35 - 40

使用環境湿度 %RH

20 - 30 30 - 70 70 - 90 90 - 100

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ファーストゲート株式会社

会社概要

ファーストゲート株式会社は「世界でオンリーワン・ナンバーワンのハイエンドな製品をご提供する」をモットーに半導体製造装置における流体制御コンポーネント部品の販売を主な事業内容とする企業です。
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  • 本社所在地: 東京都

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