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超音波流量計 超音波流量計を計測部に採用し、フィードバックコントロールを可能にする一体型流量コントローラ CLFC300シリーズ-一体型流量コントローラ CLFC300
超音波流量計 超音波流量計を計測部に採用し、フィードバックコントロールを可能にする一体型流量コントローラ CLFC300シリーズ-東京計装株式会社

超音波流量計 超音波流量計を計測部に採用し、フィードバックコントロールを可能にする一体型流量コントローラ CLFC300シリーズ
東京計装株式会社

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この製品について

CLFC300シリーズは、超音波流量計検出器、コントロール弁、流量演算およびバルブ制御を行う回路部を一体化した流量コントローラです。 目標流量に極めて速いスピードで追随させることが出来る制御機能を搭載しており、薬液の定量供給、DIWの流量制御、スラリー流体の一定値制御など、半導体装置で要求される様々な液体のコントロール用としてお使いいただけます。 特長

■流量計制御性向上

従来の演算処理を改良し、さらに気泡耐性を向上させました。流量計測の安定性も向上しました。

■制御性向上

ステップ応答性能としては最新の演算回路により極めて速い応答性を実現し、設定値に対して1.5秒以内の制御速度を実現しました。

■2種類のバルブタイプ選択可能

薬液やDIW用としてニードルバルブ、スラリー流体に対してはピンチチューブバルブを取り揃えています。 ピンチチューブタイプには新たにSTA-PURE Style Pcs (スタピュア) チューブを追加しました。スタピュアチューブは耐久性に優れ、従来定期交換が必要であったチューブ交換が不要になります。

■小型軽量化

超音波流量計検出器、コントロール弁、回路部を小型のケースに収納しており、装置内への取り付けに際して省スペースを実現しました。 構造を再設計し従来品をさらにコンパクト化しました。 (20%ダウン) 、小型化に伴い重量も削減しました。 (35%ダウン)

■省配線・配管

設置に際しては、流体入口・出口の継ぎ手を接続することと、電気配線を多芯ケーブルで行うのみであり、複雑な配管・配線が不要です。

■環境対応

消費電流を削減しました。 (実測値35%ダウン) RoHSに対応した部品で構成されています。

■高耐食

接液部にはPFAおよびPTFEという極めて耐食性の高い材料を採用し、半導体産業や薬液を扱う様々な産業での適用が可能です。ケース材質にもPVDFを採用しています。

■EMC適合

EN 61326-1:2006 主な用途

■薬液やDIWの供給流量の設定

定量ポンプやタンクへの加圧により制御していた様々な薬液やDIWの供給ラインにCLFC300を設置することにより、高精度かつ安定した供給液体量の制御が可能となります。

  • シリーズ

    超音波流量計 超音波流量計を計測部に採用し、フィードバックコントロールを可能にする一体型流量コントローラ CLFC300シリーズ

企業レビュー

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2025年7月30日にレビュー

価格表及び見積書を依頼し又、修正もお願いしましたが、対応が早くて助かりました。

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2025年2月7日にレビュー

迅速な返信、的確な質問と回答

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2025年3月25日にレビュー

対応はが早かったについて丁寧にご対応いただき、大変助かりました。

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超音波流量計 超音波流量計を計測部に採用し、フィードバックコントロールを可能にする一体型流量コントローラ CLFC300シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定対象 口径 流量レンジ スラリー用 (ピンチチューブバルブ) 流量レンジ 純水、薬液用 (ニードルバルブ) 流体温度 流体圧力 プロセス接続 測定精度 電源 消費電流 突入電流 適合規格及びEMC適合 使用周囲温度/湿度 音速範囲 流体動粘度 流量計精度 コントロール精度 出力精度 入力変換誤差 応答速度 制御差圧範囲 アナログ入出力信号 表示 接点出力 ゼロ調整 接液部材質 ケース材質 保護等級 質量
超音波流量計 超音波流量計を計測部に採用し、フィードバックコントロールを可能にする一体型流量コントローラ CLFC300シリーズ-品番-一体型流量コントローラ CLFC300

一体型流量コントローラ CLFC300

要見積もり

液体全般 (安定した計測には、液体に気泡を含まないこと。)

φ1/4

50 ~ 500mL/min

最大　200~2000mL/min
最小　5~50mL/min

10 ~ 50 ℃

0.4 MPa max.

Pillar S300 (標準) 、Flare

±0.2% (F.S.)

24V DC (±10%)

Max200mA

1.5A以下

RoHS対応
EMC規格適合：EN61326-1：2006

5~50℃ (30~80%RH、結露なきこと)

1,000~2,200m/s

0.3~40mm2/S

流量800mL/min以上=±1% (R.D.)
流量800mL/min未満=±8L/min以内
(フルスケール50 mL/min以下の場合±2 mL/min 以内)

設定値に対し±1.5% (R.D.)

アナログ出力付加誤差：±0.2% (F.S.)

アナログ設定入力変換誤差：±0.2% (F.S.)

ニードルタイプ：設定値の±3.0%に1.5秒以内 (代表値)
ピンチタイプ：設定値の±1.5%に1.5秒以内 (代表値)

ニードルタイプ：0.05~0.3MPa
ピンチタイプ：0.05~0.2MPa

セットポイント入力 (Set Point) および龍力信号出力 (Flow Out) の2点。
・0-10V
入力インピーダンス：980kΩ、出力負荷抵抗：500kΩ以上　他

・電源表示：緑LED
・流量計ステータス：緑LED
・バルブステータス：緑LED

オーピンコネクタ2接点 (標準・ノーマルオープン)
定格：DC30V、50mA (MAX)
・バルブ異常時
・流量異常時

接点入力 (電源+側に短絡/開放)

PFA、PTFE (ピンチチューブ)

PVDF

IP20 (基板収納部IP54相当)

約1.3kg (ケーブル含む) 本体：約1kg

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使用用途

#換気制御 #環境改善 #記録 #計測制御 #健康維持 #省エネ #濃度把握 #流量制御

入力信号対応

アナログ入力型 デジタル入力型 パルス入力型 通信入力型

出力機能

リレー出力型 アナログ出力型 デジタル出力型 通信出力型

接続形態

単体型 多チャンネル型 モジュール型 組込型

処理機能

複数閾値型 ロジック処理型 プログラム内蔵型

表示器 桁

3 - 4 4 - 6

サンプリング周波数 Hz

250 - 500 500 - 1,000 1,000 - 20,000 20,000 - 100,000

電源電圧 V

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 110 110 - 200 200 - 250

許容周囲温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 40 40 - 50 50 - 60

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会社概要

東京計装株式会社は、1954年に設立された計測機器製造メーカーです。
東京都港区に本社を置き、大阪支店や名古屋営業所、北九州営業所などの国内拠点を設けるほか、中国・韓国やシンガポールなどに海外拠点を設けています。...

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