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流量計 気体・液体計測用 外周シール方式採用低リークタイプ パージメータP-810シリーズ-外周シール方式採用低リークタイプ パージメータP-810
流量計 気体・液体計測用 外周シール方式採用低リークタイプ パージメータP-810シリーズ-東京計装株式会社

流量計 気体・液体計測用 外周シール方式採用低リークタイプ パージメータP-810シリーズ
東京計装株式会社

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この製品について

半導体製造プロセスの各種ガスの流量測定に最適。外周シール採用で高信頼。各種装置で豊富な使用実績。電解研磨処理、低リークの高品位タイプもあります。

■主な用途

・半導体製造装置気体用 ・リーク量重視ライン用

  • シリーズ

    流量計 気体・液体計測用 外周シール方式採用低リークタイプ パージメータP-810シリーズ

企業レビュー 4.5

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流量計 気体・液体計測用 外周シール方式採用低リークタイプ パージメータP-810シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定対象 口径 流量レンジ (空気) 流量レンジ (水) 流体温度 流体圧力 測定精度 目盛範囲 材質 本体接液部 材質 テーパ管 材質 パッキン 材質 取付板 材質 カバー 取付方法 質量
流量計 気体・液体計測用 外周シール方式採用低リークタイプ パージメータP-810シリーズ-品番-外周シール方式採用低リークタイプ パージメータP-810

外周シール方式採用低リークタイプ パージメータP-810

要見積もり

気体全般
液体 (水相当 : 密度1.0g/cm3 粘度1.0mPa・s のみ)

Rc : 1/4 (標準) 、1/8
NPT : 1/4、1/8
SW : 1/4、3/8
VCR : 1/4、3/8

最大 6 ~ 60 L/min (nor)
最小 5 ~ 50 mL/min (nor)

最大 0.2 ~ 2 L/min
最小 5 ~ 50 mL/min

最高120℃ (パッキン材質によって異なる)

0.8 MPa max.

±3% F.S.

10:1

SCS14 (標準) 、SUS316 (電解研磨仕様)

耐熱ガラス

フッ素ゴム (最高120℃)
クロロプレンゴム (CR) (最高80℃)
各パッキン材質の最高流体温度は、一般的なデータであり、使用条件や環境によって変わることがあります。

SUS304

透明PVC

パネルの前面ロックナット取付 (標準)
ベゼルによるパネル取付

約0.6kg

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使用用途

#積算 #半導体プロセス #高温流体 #冷却水監視 #防爆環境 #溶接 #燃費測定 #医療用途

口径 mm

5 - 20 20 - 50 50 - 150 150 - 600 600 - 6,000

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 6

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 2

使用温度範囲 ℃

-60 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 500

測定流体

液体 気体

電源電圧 VDC

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50

保護等級 IP

IP54 IP64 IP65 IP66 IP67 IP68 IP69K IPX4

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この商品の取り扱い会社情報

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6.5時間


企業レビュー

4.5

会社概要

東京計装株式会社は、1954年に設立された計測機器製造メーカーです。
東京都港区に本社を置き、大阪支店や名古屋営業所、北九州営業所などの国内拠点を設けるほか、中国・韓国やシンガポールなどに海外拠点を設けています。...

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  • 本社所在地: 東京都

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