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CMPパッド加工機 TPM-01-TPM-01
CMPパッド加工機 TPM-01-テクノマシナリー株式会社

CMPパッド加工機 TPM-01
テクノマシナリー株式会社

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この製品について

■概要

CMPパッドに溝、孔加工をするマシンです。パッド意匠は、同心円、XY、放射、パーフォレートが出来ます。

■特徴

・吸着は真空ポンプ ・加工設定はタッチパネルで簡単入力

  • シリーズ

    CMPパッド加工機 TPM-01

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CMPパッド加工機 TPM-01 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) パッド径 パッド厚み
CMPパッド加工機 TPM-01-品番-TPM-01

TPM-01

要見積もり

20~30inch

t1.2~

フィルターから探す

CMP装置をフィルターから探すことができます

対応ウェハーサイズ インチ

0 - 4 4 - 6 6 - 8 8 - 10 10 - 12

プレート回転速度 min-1

0 - 70 70 - 100 100 - 200 200 - 240

電源仕様 V

2 - 50 50 - 120 120 - 200

重量 kg

0 - 50 50 - 150 150 - 200

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テクノマシナリー株式会社

  • 本社所在地: 静岡県

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