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超音波流量計 洗浄装置、薬液供給装置の高温流量計測に 高温液体用小口径超音波流量計 UCUF-04MT/SFC-010T-UCUF-04MT-□□□/SFC-010T-0□
超音波流量計 洗浄装置、薬液供給装置の高温流量計測に 高温液体用小口径超音波流量計 UCUF-04MT/SFC-010T-東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、薬液供給装置の高温流量計測に 高温液体用小口径超音波流量計 UCUF-04MT/SFC-010T
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この製品について

■概要

高温用UCUF-04MT形超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量測定で実績のあるUCUFシリーズ超音波流量計を高温用に改良した流量計です。接液部はすべて特殊グレードのPFA成型品で構成され、稼動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため半導体製造装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。 変換器は薄型のDINレール取り付けタイプです。デジタル信号プロセッサ (DSP) 等の最新の電子技術を採用し、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減したことを特徴としております。さらに時間分解能の向上と信号処理の高速化により従来製品と比較して低流量域で測定の安定度が向上しました。

■特長

・省エネ・省スペース:SFC-010T変換器は従来形変換器を更にスリム化しました。 ・高速演算:SFC-010Tは10msの高速サンプリング処理。 ・耐気泡性能を大幅に改善:流体中に気泡が含まれると超音波の伝播が阻害されて流量測定が不能になります。豊富なフィールド経験とDSP信号処理技術により、受信波形をチェックして気泡の影響を検知し、流量計算から除外し気泡の影響による異常出力を排除することに成功しました。 ・適合規格:CE (EMC指令 IEC61326-1:2006適合) 、RoHS対応 ・検出器:流体温度180℃まで対応可能。最大40.0[mm²/s]までの高粘度流体の測定が可能。理想的なクリーン構造の検出器。腐食に強く取付けが容易。 ・変換器機能:ゼロチェック機能:測定前にゼロチェックを行うことで測定流体に対して最適な条件で測定を開始できます。パラメータ設定:専用コンフィギュレータソフトより各種パラメータ設定が可能です (別途、RS-485通信コンバータが必要) 。流量表示:7セグメント赤色LED (4桁) 表示を搭載し、流量表示とステータスを表示できます。

■主な用途

・半導体製造プロセスの高温薬液流量測定 (計測対象薬液は事前にご相談ください) ・各種薬液供給プロセスの流量測定 (計測対象薬液は事前にご相談ください) ・微少流量測定

  • シリーズ

    超音波流量計 洗浄装置、薬液供給装置の高温流量計測に 高温液体用小口径超音波流量計 UCUF-04MT/SFC-010T

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超音波流量計 洗浄装置、薬液供給装置の高温流量計測に 高温液体用小口径超音波流量計 UCUF-04MT/SFC-010T 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 検出器仕様 測定対象 検出器仕様 口径 検出器仕様 流量レンジ 検出器仕様 流体温度 検出器仕様 流体圧力 検出器仕様 プロセス接続 検出器仕様 測定精度 変換器仕様 形式 変換器仕様 ディスプレイ 変換器仕様 アナログ出力 変換器仕様 周波数出力 変換器仕様 アラーム出力 変換器仕様 電源 変換器仕様 構造 変換器仕様 取付 変換器仕様 検出器接続数 変換器仕様 消費電流 変換器仕様 最低駆動電流 変換器仕様 突入電流 変換器仕様 出力周期 変換器仕様 時定数 変換器仕様 ローカット 変換器仕様 コネクタ 変換器仕様 適合検出器 変換器仕様 パラメータ設定 変換器仕様 周囲温度 変換器仕様 周囲湿度 変換器仕様 適合規格 変換器仕様 ケース材質 変換器仕様 質量
超音波流量計 洗浄装置、薬液供給装置の高温流量計測に 高温液体用小口径超音波流量計 UCUF-04MT/SFC-010T-品番-UCUF-04MT-□□□/SFC-010T-0□

UCUF-04MT-□□□/SFC-010T-0□

要見積もり

液体全般 (気泡を含まない液体およびPFAを透過または侵食しないこと)

4mm

0.8~2.0L/min (流速1m/s以上)
0.1~0.8L/min (流速1m/s未満)

10~180℃

0~0.5MPa

PFAチューブエンド

±0.008L/min~±1%

SFC-010T

4桁LED表示 (瞬時流量、ステータス)

DC4~20mA、負荷抵抗500Ω以内

0~1KHz、定格:オープンコレクタパルス、DC30V/10mA

上下限2点、定格:オープンコレクタパルス、DC30V/10mA

DC24V±10%

IP20 (屋内仕様)

DINレール取付

1台

約155mA

350mA

約2A/2ms

10ms

0.0~25.0sec

0.0~25.0%F.S.

SMBコネクタ

UCUF-04MT

専用設定コンフィギュレータソフトにより変更可能

単独0~45℃
連結0~25℃

30~80%RH

EMC指令 IEC61326-1:2006適合、RoHS

耐熱ABS樹脂 (白)

約150g

フィルターから探す

流量計をフィルターから探すことができます

口径 mm

5 - 20 20 - 50 50 - 150 150 - 600 600 - 6000

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 6

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 2

使用温度範囲 ℃

-60 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 500

測定流体

液体 気体

電源電圧 VDC

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50

保護等級 IP

IP54 IP64 IP65 IP66 IP67 IP68 IP69K IPX4

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会社概要

東京計装株式会社は、1954年に設立された計測機器製造メーカーです。
東京都港区に本社を置き、大阪支店や名古屋営業所、北九州営業所などの国内拠点を設けるほか、中国・韓国やシンガポールなどに海外拠点を設けています。...

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