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超音波流量計 半導体製造装置などの流量計測に クランプオン型超音波流量計 UCL/SFC010C (1ch) ,SFC011C (6ch)-UCL060-□-□/SFC010C-□
超音波流量計 半導体製造装置などの流量計測に クランプオン型超音波流量計 UCL/SFC010C (1ch) ,SFC011C (6ch)-東京計装株式会社

超音波流量計 半導体製造装置などの流量計測に クランプオン型超音波流量計 UCL/SFC010C (1ch) ,SFC011C (6ch)
東京計装株式会社

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この製品について

■概要

UCL/SFCはPFA配管用のクランプオン超音波流量計です。既設のチューブを挟むだけで流量計測が可能な為、配管の施工が不要です。配管内は実質的にクリーンに保たれます。半導体製造装置等のクリーン度の要求されるプロセスに最適です。 検出器:UCL (大口径、小口径) 、変換器:SFC010C (1CH) 、SFC011C (6CH) 。

■特長

・クランプオン:既設のチューブを挟むだけで流量計測可能。配管内に接触しない為、本質的にクリーン ・高速演算:10msの高速演算処理 ・ゼロ点調整:計測前にゼロ点調整を行うことで計測する流体に対して最適な条件で計測を開始できます。 ・豊富な機能:7Seg LED (赤色、4桁) で瞬時流量、ステータスを表示。瞬時流量の各種アナログ出力 (形式により選択) 。周波数出力 (1kHz F.S.) 、エラー出力、瞬時流量上下限警報、積算流量出力、積算流量上限警報 (オープンコレクタ) 。RS-485通信でパラメータ設定や流量データを取得可能 ・適合規格:EMC適合規格:EN61326–1、EN61326–2–3、RoHS2対応

  • シリーズ

    超音波流量計 半導体製造装置などの流量計測に クランプオン型超音波流量計 UCL/SFC010C (1ch) ,SFC011C (6ch)

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超音波流量計 半導体製造装置などの流量計測に クランプオン型超音波流量計 UCL/SFC010C (1ch) ,SFC011C (6ch) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 検出器 測定対象 検出器 口径 外径 (mm) ×内径 (mm) 検出器 流量レンジ 検出器 流体温度 検出器 流体圧力 検出器 プロセス接続 検出器 測定精度 検出器 構造 検出器 本体質量 検出器 本体材質 検出器 本体ケーブル材質 変換器 形式 変換器 チャンネル数 変換器 ディスプレイ 変換器 出力 変換器 電源 変換器 構造 変換器 取付 変換器 消費電流 変換器 突入電流 変換器 パラメータ設定 変換器 周囲温度 変換器 周囲湿度 変換器 ケース材質、色 変換器 質量 変換器 適合検出器 変換器 適合規格 流体仕様 周囲温度 流体仕様 流体音速 流体仕様 流体動粘度
超音波流量計 半導体製造装置などの流量計測に クランプオン型超音波流量計 UCL/SFC010C (1ch) ,SFC011C (6ch)-品番-UCL060-□-□/SFC010C-□

UCL060-□-□/SFC010C-□

要見積もり

液体全般 (気泡を含まない液体)

6×4

最大0~80L/min
最小0~3L/min

10~60℃

0~0.5MPa

クランプオン

±2%R.D. (0.8~80L/min)
±0.015~0.464L/min (0~23.3 L/min)

IP64相当 (屋内仕様、配管取付時)

小口径 約270g (ケーブル長5m)
大口径 約240g (ケーブル長5m)

PPS (大口径用クランプバンド:PP)

PTFE被覆

SFC010C

1

4桁 (瞬時流量、ステータス)

デジタル出力:周波数、積算、アラーム、エラーから選択、オープンコレクタ、デューティ1:1、負荷抵抗DC30V、10mA以内
アナログ出力:DC 4-20mA (標準) 負荷抵抗500Ω以下

DC24V±10%

IP20相当 (屋内仕様)

DINレール取付

約160mA

約550mA

専用コンフィグソフトによる設定

単独:0~45℃、連結:0~25℃

30~80%RH (結露しないこと)

耐熱ABS樹脂 (白)

約150g

UCLシリーズ

EMC適合規格:EN61326–1、EN61326–2–3、RoHS2対応

0~60℃

1,000~2,200m/s

0.8~40.0mm²/s

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流量計をフィルターから探すことができます

口径 mm

5 - 20 20 - 50 50 - 150 150 - 600 600 - 6,000

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 6

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 2

使用温度範囲 ℃

-60 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 500

測定流体

液体 気体

電源電圧 VDC

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50

保護等級 IP

IP54 IP64 IP65 IP66 IP67 IP68 IP69K IPX4

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会社概要

東京計装株式会社は、1954年に設立された計測機器製造メーカーです。
東京都港区に本社を置き、大阪支店や名古屋営業所、北九州営業所などの国内拠点を設けるほか、中国・韓国やシンガポールなどに海外拠点を設けています。...

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