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気体/液体供給装置 気体・液体供給装置 キャビネットガス混合装置 FL Series-FL Series
気体/液体供給装置 気体・液体供給装置 キャビネットガス混合装置 FL Series-株式会社リンテック

気体/液体供給装置 気体・液体供給装置 キャビネットガス混合装置 FL Series
株式会社リンテック



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この製品について

■製品説明

FLシリーズは、マスフローコントローラを使用し、複数ガスを指定濃度、流量にして安定供給する装置です。混合ガスをご購入いただくよりもランニングコスト削減に貢献できます。

■特長1

・必要な時に必要なだけの混合ガスを供給。 ・供給量が変化しても一定濃度の混合ガスを自動供給。 ・ガス種類や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能。 ・メンテナンスを考えたクリーンな構造。 ・安全面を考慮した各種アラーム設定機能搭載。 ・気体の物性を考慮した設計により、安定的な供給が可能。

■特長2

ランニングコストの高い混合ガスボンベの代わりに、純粋ガスをマスフローコントローラで流量制御し、バッファータンクで混合ガスを自動生成します。使用量をマスフローメーターで監視することで、混合ガスの生成量モードを切り替えます。これにより、混合ガスボンベよりもメンテナンス頻度も低く、生産工場でのランニングコストを削減することができます。

  • シリーズ

    気体/液体供給装置 気体・液体供給装置 キャビネットガス混合装置 FL Series

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気体/液体供給装置 気体・液体供給装置 キャビネットガス混合装置 FL Series 品番1件

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FL Series

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ(流量制御機器)、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

気体・液体マスフローコントローラ...

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  • 本社所在地: 滋賀県
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