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気体/液体供給装置 液体気化供給装置 ベーキングユニット SVC Series-SVC Series (標準仕様)
気体/液体供給装置 液体気化供給装置 ベーキングユニット SVC Series-株式会社リンテック

気体/液体供給装置 液体気化供給装置 ベーキングユニット SVC Series
株式会社リンテック



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この製品について

■製品説明

SVCシリーズは、内蔵タンク加熱し、気化したガスを高温用マスフローコントローラで流量制御し、液ガスを供給する装置です。流体計測制御機器メーカーとして液体の物性を考慮した装置設計により安定的に流体供給を実現します。

■特長

・供給ライン全体の温度を最適化することで、液化を防止し、気化ガスを安定供給 ・各種ユーティリティに接続するだけで手軽にベーキング供給が可能なオールインワン設計 ・液体物性や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能 ・メンテナンスを考えたクリーンな構造 ・安全面を考慮した各種アラーム設定機能搭載 ・液体の物性を考慮した設計により、安定的な供給が可能

■用途

SVCシリーズは、DLC等のカーボン系薄膜の成膜で用いるC7H8や光ファイバー製造に欠かせない材料であるSiCl4、半導体製造プロセスであるレジスト剥離で行うアッシングで用いられるH2O等、生産設備で必要な液体材料の気化供給に使われています。 ベーキングユニットは基本的にMFC2次側が真空 (減圧) 下での使用が条件となる装置です。

■液体材料実績例

CH3OH/C5H5N/C5H8O2/H2O/HMDS/HMDSO/OMCTS/SiCl4/TEOS/TMCTS

  • シリーズ

    気体/液体供給装置 液体気化供給装置 ベーキングユニット SVC Series

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気体/液体供給装置 液体気化供給装置 ベーキングユニット SVC Series 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用環境温度/相対湿度 使用条件 電源電圧 絶縁抵抗 温度調節器 空圧弁操作 ユーテリティ (バルブ駆動Air) ユーテリティ (キャリアガス・圧送ガス用N2) ユーテリティ (電源) 配管/筐体 (筐体内排気) 配管/筐体 (配管) 配管/筐体 (液面計) 配管/筐体 (タンク)
気体/液体供給装置 液体気化供給装置 ベーキングユニット SVC Series-品番-SVC Series (標準仕様)

SVC Series (標準仕様)

要見積もり

0~40℃/80%以下

連続運転

単相AC100V 50/60Hz

500Vメガにて10MΩ以上

MFC/タンク/配管ライン 3点独立制御

フローパネルスイッチ

0.5~0.6MPa

0.05~0.3MPa

100/200VAC

φ50ダンパー

BA管

フロート式

500CC/1L/2L/5L

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使用用途

#医薬品充填 #化粧品製造 #食品添加 #接着剤供給 #潤滑剤塗布 #塗料供給 #樹脂注入 #半導体製造 #電池材料供給 #インク供給

排出量 ml/min

0 - 20 20 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000

供給ホッパ容量 L

0 - 5 5 - 15 15 - 30 30 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500

ターンテーブル駆動モータ W

0.4 15 70

排出段数 段

1 - 2 2 - 4 4 - 6 6 - 10

圧力 MPa

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 30

供給能力 kg/h

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000

電源 V

0 - 100 100 - 200 200 - 300

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ(流量制御機器)、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

気体・液体マスフローコントローラ...

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  • 本社所在地: 滋賀県

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