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気体/液体供給装置 液体気化供給装置 LVS Series-LVS Series (標準仕様)
気体/液体供給装置 液体気化供給装置 LVS Series-株式会社リンテック

気体/液体供給装置 液体気化供給装置 LVS Series
株式会社リンテック



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この製品について

■製品説明

LVSシリーズは、液体マスフローコントローラと気化器を使用した液体気化供給器をコンパクトにまとめ、流体計測制御機器メーカーとして液体の物性に応じたフローシステムにより、バブリングユニットより安定的に供給でき、ベーキングユニットより大流量で常圧にも対応可能な装置です。

■特長

・各種ユーティリティに接続するだけで手軽に液体気化供給が可能なオールインワン設計 ・液体物性や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能 ・メンテナンスを考えたクリーンな構造 ・安全面を考慮した各種アラーム設定機能搭載 ・液体の物性を考慮した設計により、安定的な供給が可能

■用途

LVSシリーズは、主に各種液体材料の研究開発用途で多く使われています。CVD (chemical vapor deposition) で成膜プロセスに用いる液体材料の気化供給を行います。

■液体材料実績例

C2H5OH/C6H14/C6H14/C6H14O3/C14H32OSi/ (CH3CH2) 2NH/H2O/HMDS/HMDSO/SiCl4/TEOS/TiCl4/アクリル酸

  • シリーズ

    気体/液体供給装置 液体気化供給装置 LVS Series

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気体/液体供給装置 液体気化供給装置 LVS Series 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用環境温度/相対湿度 使用条件 電源電圧 (単相) 絶縁抵抗 ユーテリティ (バルブ駆動Air) ユーテリティ (キャリアガス・圧送ガス用N2) ユーテリティ (電源) 配管/筐体 (配管) 配管/筐体 (液面計) 配管/筐体 (タンク) 温度調節器 操作・設定
気体/液体供給装置 液体気化供給装置 LVS Series-品番-LVS Series (標準仕様)

LVS Series (標準仕様)

要見積もり

20~40℃/80%以下

連続運転

・AC100V 50/60Hz
・AC200V 50/60Hz

500Vメガにて10MΩ以上

0.5~0.6MPa

0.05~0.3MPa

・100VAC
・200VAC

BA管

フロート式

500CC/1L/2L/5L

気化器/配管ライン2点独立制御

タッチパネル

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ(流量制御機器)、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

気体・液体マスフローコントローラ...

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  • 本社所在地: 滋賀県
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