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ガス加熱器製品 高温ガス加熱器【HX-0301L】-HX-0301L
ガス加熱器製品 高温ガス加熱器【HX-0301L】-株式会社リンテック

ガス加熱器製品 高温ガス加熱器【HX-0301L】
株式会社リンテック

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この製品について

■製品説明

コンパクトな設計で、N2換算250SLMをMax300℃加熱が可能な高温ガス加熱器。

■特長

・高さ240mm×横101mm×幅75mmのコンパクト設計 ・最大流量250SLM ・最高使用温度300℃ ・2台並列で300℃、500SLMが可能 ・設定温度と出口ガス温度の差が少ない設計 使用例

■ウェハの反り返り矯正

ウェハは成膜を重ねる事で反り返りが発生する事があります。その対策の一つとして高温大流量の熱風で反り返りを矯正する方法があります。2台並列する事で300℃、500SLMの高温大流量を発生可能な高温ガス加熱器 (HX-0301) は反り返りの矯正に最適です。

  • シリーズ

    ガス加熱器製品 高温ガス加熱器【HX-0301L】

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ガス加熱器製品 高温ガス加熱器【HX-0301L】 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 流量 (N2換算) 圧力損失 (N2) 耐圧 (G) 使用温度 接ガス部材質
ガス加熱器製品 高温ガス加熱器【HX-0301L】-品番-HX-0301L

HX-0301L

要見積もり

250SLM

94kPa

1MPa

300℃

SUS316L

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伝熱面積 m²

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 6 6 - 8 8 - 12 12 - 30

冷却能力 kW

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 40

熱交換量 kW

0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 80 80 - 130

使用温度範囲 ℃

-200 - -100 -100 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 1150

最高使用圧力 MPa

0 - 1 1 - 2 2 - 5

流量 L/min

0 - 20 20 - 100 100 - 300

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社リンテック

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ（流量制御機器）、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

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  • 本社所在地: 滋賀県

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