液体マスフローコントローラーコリオリ式マスフローコントローラ
株式会社リンテック

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この製品について

■製品説明コリオリ式の流量センサにより直接質量流量を測定する為、C.F.に頼らず様々な液体の流量制御が可能な液体用マスフローコントローラ。

フルスケール流量2～140g/minをご注文時に指定する事が可能。コリオリ式質量流量センサとソレノイドバルブで±1%F.S.の精度で制御。

コリオリ式質量流量センサによりC.F.に頼らない流量測定が可能。

■特徴・精度±1%F.S.
・コンバージョンファクタ不要
・大流量液体制御 (Max：140g/min) 

使用例
■様々な液種の流量制御コリオリ式マスフローコントローラはコリオリ式力を液相流体の質量を直接測定、制御します。C.F.に関係なく様々な液種の流量制御ができる為、様々な液種の流量制御に最適です。

■シリーズ概要・LC-4000シリーズは、コリオリの法則を使用したセンサにソレノイドアクチュエータを組み合わせた液体マスフローコントローラです。
・気化器VU Seriesと使用することで、液体気化供給器として使用可能です。

■シリーズ特徴・コリオリ式質量流量センサを採用することで、液種による流量校正が不要。
・0.2～140g/minの液体流量を精度±1.0%F.S.で制御。
・耐久性、シール性に優れたメタルシールまたはエラストマーシールを採用することで、メンテナンス性が向上。
・金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作。
・バイパスレス構造により、液体の導入や内部パージが容易。

■コリオリの原理振動しているU字型チューブ内を液体が流れると、チューブの動きに抵抗する力が発生し、その力は質量流量に比例したねじれを発生させる。そのねじれをセンサにより検出することで質量流量を計測。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
液体マスフローコントローラーコリオリ式マスフローコントローラ

取扱企業
株式会社リンテック

カテゴリ

コントローラ・制御装置

マスフローコントローラ

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液体マスフローコントローラーコリオリ式マスフローコントローラ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	流量 (H2O)	流量制御範囲	バルブ動作	精度	再現性	応答時間	アナログ流量設定信号	アナログ流量出力信号	必要差圧	耐圧	使用保証温度	リークレート	接液部材質	シール材	所要電源	取付姿勢	アナログコネクタ	バルブ方式	重量
	LC-4216L	要見積もり	2~7g/min	10~100%F.S.	ノーマリクローズ	±1.0%F.S.	±0.5%F.S.	3sec	0.5~5VDC	0~5VDC	150~300kPa	1MPa (G)	0~60℃ 0~80%RH	・NC：1×10-11Pa･m3/sec He ・RC：1×10-7Pa･m3/sec He	SUS316L,17-7PH ステンレス,高合金フェライト系ステンレス	・NC：Ni ・RC：バイトン ®	+15~30VDC (+15VD 400mA)	コネクタ部を下面または鉛直方向	Dsub 15pin	ソレノイドアクチュエータ	1.6kg