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液体マスフローコントローラー コリオリ式マスフローコントローラ取扱企業
株式会社リンテックカテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 流量 (H2O) | 流量制御範囲 | バルブ動作 | 精度 | 再現性 | 応答時間 | アナログ流量設定信号 | アナログ流量出力信号 | 必要差圧 | 耐圧 | 使用保証温度 | リークレート | 接液部材質 | シール材 | 所要電源 | 取付姿勢 | アナログコネクタ | バルブ方式 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
LC-4216L |
要見積もり |
2~7g/min |
10~100%F.S. |
ノーマリクローズ |
±1.0%F.S. |
±0.5%F.S. |
3sec |
0.5~5VDC |
0~5VDC |
150~300kPa |
1MPa (G) |
0~60℃ 0~80%RH |
・NC：1×10-11Pa･m3/sec He |
SUS316L,17-7PH ステンレス,高合金フェライト系ステンレス |
・NC：Ni |
+15~30VDC (+15VD 400mA) |
コネクタ部を下面または鉛直方向 |
Dsub 15pin |
ソレノイドアクチュエータ |
1.6kg |
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使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
