液体マスフローコントローラー液体マスフローメーター高性能マスフローコントローラ-LC-3102L

液体マスフローコントローラー液体マスフローメーター高性能マスフローコントローラ
株式会社リンテック

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この製品について

■製品説明液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラ。

熱式の液体用流量センサと高精度のピエゾアクチュエータバルブを一体化した液体用マスフローコントローラ。

液体質量流量センサで現在の質量流量を測定、ピエゾバルブの開度をフィードバック制御する事で、高速で液体質量流量の自動制御が可能。

■特徴・微小流量液体制御
・精度±1%F.S.
・クリーン (パーティクル保証) 
・RS-485通信

使用例
■脈動のない微小流量の連続制御定量ポンプは一定量の液体を流せる便利な製品ですが、可動部がある為脈動が発生します。リンテックの液体マスフローコントローラは適切な圧力で一定の圧力で加圧されていれば、脈動のない安定した流量制御が可能です。

■真空装置への液体制御二次側が真空条件では、容積式では液体が抜けてしまい流量制御が難しくなります。コントロールバルブと質量流量センサが一体化した液体マスフローコントローラ (LC-3000シリーズ) は、適切な差圧条件であれば二次圧に関わらず流量制御が可能です。

■シリーズ概要LC-3000Lシリーズは、液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを内蔵した高性能のデジタル液体マスフローコントローラです。

■シリーズ特徴・ピエゾアクチュエータを内蔵することで液体マスフローコントローラとして一体化
・デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備
・リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
・マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
・デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ
・高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用
・耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
・金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
液体マスフローコントローラー液体マスフローメーター高性能マスフローコントローラ

取扱企業
株式会社リンテック

カテゴリ

メーター・計測機器

マスフローメーター

コントローラ・制御装置

マスフローコントローラ

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液体マスフローコントローラー液体マスフローメーター高性能マスフローコントローラ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	流量 (C2H5OH換算)	流量 (H2O換算)	流量制御範囲	バルブ動作	精度	応答時間	アナログ流量設定信号	アナログ流量出力信号	必要差圧	耐圧	使用保証温度	リークレート	接液部材質	シール材	所要電源	取付姿勢	アナログコネクタ	デジタルインターフェイス	バルブ方式	重量
	LC-3102L	要見積もり	0.1~1.0g/min	0.1~0.2g/min	5~100%F.S.	ノーマリオープン	±1.0%F.S.	3sec	0.25~5VDC	0~5VDC	50~300kPa	1MPa (G)	15~35℃ 0~80%RH	1×10-11Pa･m3/sec He	SUS316L,PCTFE	Au	・+15VDC±3% 100mA ・-15VDC±3% 50mA	自由	Dsub 9pin	モジュラジャックRJ45/RS-485	ピエゾアクチュエータ	1.0kg