液体マスフローコントローラー液体マスフローメーター高性能液体マスフローメーター-LM-3112L

液体マスフローコントローラー液体マスフローメーター高性能液体マスフローメーター
株式会社リンテック

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この製品について

■製品説明微小流量の液体流量センサとPIDコントローラを内蔵した高性能デジタル液体用マスフローメータ。

LM-3000Lは高精性能の液体流量センサを搭載。C2H5OH換算フルスケール0.1g/min～20g/minの微小流量測定を高精度で実現。

PIDコントローラを内蔵している為、リンテックのバルブ搭載製品 (気化器、コントロールバルブ) と組み合わせる事で液体の流量コントロールが可能。

■特徴・微小流量液体測定
・気化流量制御
・精度±1%F.S.
・メタルシール
・クリーン (パーティクル保証) 
・RS-485通信

■オプション・高温対応
・滅菌蒸気 (SPI) 処理対応

使用例
■液体気化流量の流量コントロール液体マスフローメータ (LM-3000L) と、リンテック製のコントロールバルブ内蔵気化器 (VU) と組み合わせることで、気化器に導入する流量を気化室直近の流量コントロールを可能です。その為、気化器の熱影響を受けずに応答性の高い気化の流量制御を実現。

■液体流量コントロールリンテック製コントロールバルブ (CV-1000) とPIDコントローラ内蔵の液体マスフローメータ (LM-3000L) を組み合わせる事で、液体マスフローコントローラとしての使用が可能です。

■シリーズ概要・LM-3000Lシリーズは、液体用マスフローセンサを搭載した高性能のデジタル液体マスフローメータです。
・CV-1000シリーズやコントロールバルブ付きVUシリーズと組み合わせることで液体マスフローコントローラとして動作が可能です。

■シリーズ特徴・ソレノイドアクチュエータ駆動回路を内蔵することでソレノイドアクチュエータと連動し、液体マスフローコントローラとして使用可能
・デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備
・リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
・マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
・耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
・金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
液体マスフローコントローラー液体マスフローメーター高性能液体マスフローメーター

取扱企業
株式会社リンテック

カテゴリ

メーター・計測機器

マスフローメーター

コントローラ・制御装置

マスフローコントローラ

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使用用途: 流量制御

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商品画像	品番	価格 (税抜)	流量 (C2H5OH換算)	流量 (H2O換算)	流量制御範囲	精度	アナログ流量出力信号	必要差圧	耐圧	使用保証温度	リークレート	接液部材質	シール材	所要電源	取付姿勢	アナログコネクタ	デジタルインターフェイス	重量
	LM-3112L	要見積もり	0.1~1.0g/min	0.1~0.2g/min	10~100%F.S.	±1.0%F.S.	0~5VDC	50~300kPa	1MPa (G)	15~35℃ 0~80%RH	1×10-11Pa･m3/sec He	SUS316L	Au	+15VDC±3% 100mA, -15VDC±3% 200mA	自由	Dsub 9pin	モジュラジャックRJ45/RS-485	800g