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液体マスフローコントローラー 液体マスフローメーター 高性能液体マスフローメーター-LM-3112L
液体マスフローコントローラー 液体マスフローメーター 高性能液体マスフローメーター-株式会社リンテック

液体マスフローコントローラー 液体マスフローメーター 高性能液体マスフローメーター
株式会社リンテック



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この製品について

■製品説明

微小流量の液体流量センサとPIDコントローラを内蔵した高性能デジタル液体用マスフローメータ。 LM-3000Lは高精性能の液体流量センサを搭載。C2H5OH換算フルスケール0.1g/min~20g/minの微小流量測定を高精度で実現。 PIDコントローラを内蔵している為、リンテックのバルブ搭載製品 (気化器、コントロールバルブ) と組み合わせる事で液体の流量コントロールが可能。

■特徴

・微小流量液体測定 ・気化流量制御 ・精度±1%F.S. ・メタルシール ・クリーン (パーティクル保証) ・RS-485通信

■オプション

・高温対応 ・滅菌蒸気 (SPI) 処理対応 使用例

■液体気化流量の流量コントロール

液体マスフローメータ (LM-3000L) と、リンテック製のコントロールバルブ内蔵気化器 (VU) と組み合わせることで、気化器に導入する流量を気化室直近の流量コントロールを可能です。その為、気化器の熱影響を受けずに応答性の高い気化の流量制御を実現。

■液体流量コントロール

リンテック製コントロールバルブ (CV-1000) とPIDコントローラ内蔵の液体マスフローメータ (LM-3000L) を組み合わせる事で、液体マスフローコントローラとしての使用が可能です。

■シリーズ概要

・LM-3000Lシリーズは、液体用マスフローセンサを搭載した高性能のデジタル液体マスフローメータです。 ・CV-1000シリーズやコントロールバルブ付きVUシリーズと組み合わせることで液体マスフローコントローラとして動作が可能です。

■シリーズ特徴

・ソレノイドアクチュエータ駆動回路を内蔵することでソレノイドアクチュエータと連動し、液体マスフローコントローラとして使用可能 ・デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備 ・リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載 ・マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現 ・耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上 ・金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作

  • シリーズ

    液体マスフローコントローラー 液体マスフローメーター 高性能液体マスフローメーター

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液体マスフローコントローラー 液体マスフローメーター 高性能液体マスフローメーター 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 流量 (C2H5OH換算) 流量 (H2O換算) 流量制御範囲 精度 アナログ流量出力信号 必要差圧 耐圧 使用保証温度 リークレート 接液部材質 シール材 所要電源 取付姿勢 アナログコネクタ デジタルインターフェイス 重量
液体マスフローコントローラー 液体マスフローメーター 高性能液体マスフローメーター-品番-LM-3112L

LM-3112L

要見積もり

0.1~1.0g/min

0.1~0.2g/min

10~100%F.S.

±1.0%F.S.

0~5VDC

50~300kPa

1MPa (G)

15~35℃ 0~80%RH

1×10-11Pa・m3/sec He

SUS316L

Au

+15VDC±3% 100mA, -15VDC±3% 200mA

自由

Dsub 9pin

モジュラジャックRJ45/RS-485

800g

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ(流量制御機器)、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

気体・液体マスフローコントローラ...

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  • 本社所在地: 滋賀県
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