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株式会社リンテックカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 流量 (N2換算) | 精度 | 再現性 | アナログ流量出力信号 | 使用圧力 | 耐圧 | 使用保証温度 | ベーキング温度 | リークレート | 接ガス部材質 | シール材 | 所要電源 | 取付姿勢 | アナログコネクタ | デジタルインターフェイス | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
MM-3102L-TN |
要見積もり |
10~5,000SCCM |
±1.0%F.S. |
±0.2%F.S. |
0~5VDC |
400kPa (D) 以下 |
1MPa (G) |
・-L：80~100℃ 0~80%RH |
150℃ |
1×10-11Pa･m3/sec He |
SUS316L |
Au |
+15VDC±3% 100mA, -15VDC±3% 50mA |
自由 |
Dsub 9pin |
モジュラジャックRJ45/RS-485 |
1.2kg |
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