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マスフローコントローラ ガス流量制御 マスフローメーター 高性能デジタルマスフローメータ-MM-3102L
マスフローコントローラ ガス流量制御 マスフローメーター 高性能デジタルマスフローメータ-株式会社リンテック

マスフローコントローラ ガス流量制御 マスフローメーター 高性能デジタルマスフローメータ
株式会社リンテック



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この製品について

■製品説明

±1%S.P.の高性能デジタルマスフローメータ。 リンテック独自の周囲温度補償式センサを搭載し、高速測定が可能な高性能デジタルマスフローメータ。 従来センサーよりも低温での高精度質量流量測定が可能な為、長寿命とO3のような熱分解性の高いガスでの質量流量測定を実現。

■特徴

・精度±1%S.P. ・使用温度5~50℃ ・メタルシール ・クリーン (パーティクル保証) ・周囲温度保証センサ ・RS-485通信

■シリーズ概要

MM-3000Lシリーズは、MC-3000Lシリーズをベースにした高性能のデジタルマスフローメータです。

■シリーズ特徴

・デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備 ・リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載 ・マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現 ・耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上 ・金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作

  • シリーズ

    マスフローコントローラ ガス流量制御 マスフローメーター 高性能デジタルマスフローメータ

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マスフローコントローラ ガス流量制御 マスフローメーター 高性能デジタルマスフローメータ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 流量 (N2換算) 精度 再現性 アナログ流量出力信号 使用圧力 耐圧 温度影響 (Zero) 温度影響 (Span) 使用保証温度 リークレート 接ガス部材質 シール材 所要電源 取付姿勢 アナログコネクタ デジタルインターフェイス 重量
マスフローコントローラ ガス流量制御 マスフローメーター 高性能デジタルマスフローメータ-品番-MM-3102L

MM-3102L

要見積もり

5~5,000SCCM

・100%F.S.~25%F.S.:±1.0%S.P.
・25%F.S.~2%F.S.:±0.25%F.S.

±0.2%F.S.

0~5VDC

400kPa (D) 以下

1MPa (G)

±0.02%F.S./℃

±0.02%F.S./℃

5~50℃ 0~80%RH

1×10-11Pa・m3/sec He

SUS316L

Au

+15VDC±3% 100mA, -15VDC±3% 50mA

自由

Dsub 9pin

モジュラジャックRJ45/RS-485

1.0kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ(流量制御機器)、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

気体・液体マスフローコントローラ...

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  • 本社所在地: 滋賀県
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