マスフローコントローラガス流量制御オゾンマスフローコントローラ
株式会社リンテック

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■製品説明オゾンガスの1年動作保証をしたマスフローコントローラ

リンテック独自の周囲温度補償式センサにより熱分解性の高いオゾンガスの流量制御を実現したオゾンガス専用マスフローコントローラ。

オゾンガスの流量制御を長期間行っても、オゾンガス濃度を変化させません。 (当社調べ) 

■特徴・ゾンガスの流量制御が可能
・精度±1%S.P. (校正ガス) 
・クリーン (パーティクル保証) 
・周囲温度補償センサ
・EtherCAT通信、DeviceNet通信

■オプション・低差圧対応
・ワイドレンジ

使用例
■複数のオゾンCVD装置、洗浄装置へオゾン発生装置からの分流供給オゾンは腐食性が高くMFCでの流量制御ができない為、従来はオゾン発生器数＝オゾンガス需要箇所でした。流量測定時の熱分解を抑えるオゾンガスマスフローコントローラOZ-1で流量制御すれば、1台のオゾン発生器で複数のオゾンガス需要箇所に供給する事が可能です。

■シリーズ特徴・独自の周囲温度補償方式流量センサにより、耐オゾン性を実現
・1年間のオゾンガスでの動作保証
・流量精度は±1.0%S.P.を保証 (校正ガス) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
マスフローコントローラガス流量制御オゾンマスフローコントローラ

取扱企業
株式会社リンテック

カテゴリ

コントローラ・制御装置

マスフローコントローラ

この商品に関する問題を報告する

10人以上が見ています

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

マスフローコントローラガス流量制御オゾンマスフローコントローラ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	流量 (N2換算)	バルブ動作	表面処理	流量制御範囲	精度	再現性	応答時間	必要差圧	最大動作圧	耐圧	動作温度･湿度範囲 (保存温度･湿度)	温度影響 (基準温度25℃) (ゼロ)	温度影響 (基準温度25℃) (スパン)	外部リークレート	取り付け姿勢	接ガス部材質	アクチュエータ方式	標準継手	製品重量
	OZ-1	要見積もり	10SCCM~5SLM	ノーマリオープン/ノーマリクローズ	精密研磨処理	2~100%F.S.	・100%F.S.~25%F.S.：±1.0%S.P. ・25%F.S.~2%F.S.：±0.25%F.S.	±0.2%F.S.	1秒 (代表値)	50~300kPa (D)	300kPa (G)	1MPa (G)	5~50℃･0~80%RH (結露無き事) (0~50℃･0~80%RH (結露無き事) )	±0.02%F.S./℃	±0.02%F.S./℃	1.0×10-11Pa·m3/sec (He) 以下	自由	SUS316L、PCTFE、PTFE	ピエゾアクチュエータ	6.35VCR TYPE、6.35SWL TYPE	約1.0kg