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マスフローコントローラ ガス流量制御 低価格マスフローコントローラ-MC-10RC
マスフローコントローラ ガス流量制御 低価格マスフローコントローラ-株式会社リンテック

マスフローコントローラ ガス流量制御 低価格マスフローコントローラ
株式会社リンテック



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この製品について

■製品説明

短納期と低価格を実現した、ラバーシールモデルのマスフローコントローラ。 Ar、N2などの不活性ガスの流量制御やAirなどの流量制御に最適な低価格マスフローコントローラ。仕様を限定することで短納期対応を実現。 追加オプションのバリアブルレンジ機能で流量レンジ変更も可能。RS-485のデジタル通信も追加可能。

■特徴

低価格

■オプション

・バリアブル機能 ・RS-485通信 使用例

■PVD

スパッタリング等のPVD成膜装置では、一般的に不活性ガスと呼ばれる化学反応が起きにくく安定した気体であるArが使用されます。そのようなAr等の不活性ガスをMFCでの流量制御を必要とする場合、コストを抑えられる低価格マスフローコントローラ (MC-10RC) がおすすめです。

■不活性ガス分析・実験装置

シール材の樹脂を腐食しないガス流量制御には、低価格なMFCのMC-10RCがおすすめです。さらに、オプションのVR機能により、インラインでのガス種と流量レンジの変更にも対応可能です。簡易な実験や分析装置に最適な製品です。

■シリーズ概要

MC-10シリーズは、短納期対応によりCOOに貢献するために開発された低価格のマスフローコントローラです。

■シリーズ特徴

・ラバーシールを採用することで低価格を実現 ・流量精度は±1.0%F.S.を保証 ・10SCCM~50SLMまでの幅広い流量レンジに対応 ・オプションでバリアブルレンジ (VR) 機能を選択することで、基準流量÷使用するF.S.流量×コンバージョンファクタで求めた値を 3 桁のロータリスイッチに入力して、ガス種、F.S. 流量を変更可能 ・バリアブルレンジ (VR) 機能により、1台で複数の仕様に対応することで、予備品の削減が可能 ・オプションでRS-485通信機能を選択することで、デイジーチェーン接続で最大 32 台のマスフローコントローラの接続が可能 ・リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載 ・高速、高性能なソレノイドアクチュエータを採用 ・金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作

  • シリーズ

    マスフローコントローラ ガス流量制御 低価格マスフローコントローラ

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マスフローコントローラ ガス流量制御 低価格マスフローコントローラ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 流量 (N2換算) 流量制御範囲 バルブ動作 精度 再現性 応答時間 アナログ流量設定信号 アナログ流量出力信号 必要差圧 耐圧 使用保証温度 リークレート 接ガス部材質 シール材 所要電源 取付姿勢 アナログコネクタ バルブ方式 重量
マスフローコントローラ ガス流量制御 低価格マスフローコントローラ-品番-MC-10RC

MC-10RC

要見積もり

10~5,000SCCM

2~100%F.S.

ノーマリクローズ

±1.0%F.S.

±0.2%F.S.

1sec

0.1~5VDC

0~5VDC

50~300kPa

1MPa (G)

15~35℃ 0~80%RH

1×10-11Pa・m3/sec He

SUS316L,磁性ステンレス,PTFE

バイトン®

+15VDC 100mA, -15VDC 150mA

自由

Dsub 9pin

ソレノイドアクチュエータ

1.2kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ(流量制御機器)、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

気体・液体マスフローコントローラ...

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  • 本社所在地: 滋賀県
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