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マスフローコントローラ ガス流量制御 低価格マスフローコントローラ取扱企業
株式会社リンテックカテゴリ
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マスフローコントローラの製品121点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 流量 (N2換算) | 流量制御範囲 | バルブ動作 | 精度 | 再現性 | 応答時間 | アナログ流量設定信号 | アナログ流量出力信号 | 必要差圧 | 耐圧 | 使用保証温度 | リークレート | 接ガス部材質 | シール材 | 所要電源 | 取付姿勢 | アナログコネクタ | バルブ方式 | 重量 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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MC-10RC |
要見積もり |
10~5,000SCCM |
2~100%F.S. |
ノーマリクローズ |
±1.0%F.S. |
±0.2%F.S. |
1sec |
0.1~5VDC |
0~5VDC |
50~300kPa |
1MPa (G) |
15~35℃ 0~80%RH |
1×10-11Pa・m3/sec He |
SUS316L,磁性ステンレス,PTFE |
バイトン® |
+15VDC 100mA, -15VDC 150mA |
自由 |
Dsub 9pin |
ソレノイドアクチュエータ |
1.2kg |
マスフローコントローラをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000