マスフローコントローラガス流量制御低差圧マスフローコントローラ-MC-3102S

マスフローコントローラガス流量制御低差圧マスフローコントローラ
株式会社リンテック

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この製品について

■製品説明最小動作差圧800Paの低差圧マスフローコントローラ。

独自開発した周囲温度補償式センサ低圧損仕様と、±1%F.S.の精度で圧力損失を低減。

独自のピエゾアクチュエータバルブにより、低差圧で正確な流量制御と安定性を実現。

■特徴・低差圧 (800Pa) 
・使用温度5～50℃
・メタルシール
・クリーン (パーティクル保証) 
・周囲温度補償センサ
・RS-485通信

■オプション微小流量F.S.

使用例
■低蒸気圧ガス低温での流量制御MC-3000Sは、独自に開発した低圧損構造により、H2O等の液体原料を常温でも二次側が真空状態であれば流量制御が可能な低差圧マスフローコントローラです。少量の水蒸気を真空チャンバに送るITOスパッタ法等におすすめです。その他にも、XeF2等蒸気圧の低い固体原料でも常温で流量制御が可能です。

■減圧タンク容器 (SDS容器) の流量制御イオン注入装置では、AsH3、PH3といった特殊材料ガスが用いられ、安全かつ安定的に供給するためにセイフ･デリバリー･ソース (SDS) 容器による供給が多く用いられます。SDSはタンク圧が大気圧よりも低い状態で充填されており、低差圧で流量制御可能なMFCが必要となります。MC-3000Sでは、独自の低圧損構造により、最低800Pa (6Torr) の差圧で流量制御が可能です。

■シリーズ概要MC-3000Sシリーズは、独自に開発した低圧損構造により、微差圧制御に対応したマスフローコントローラです。

■シリーズ特徴・独自の低圧損構造により、6Torrの低差圧で10SCCM (N2) を制御可能
・AsH3やPH3などのインプラ用途はもちろん、XeF2やH2Oなどの固体、液体原料を加温なしで制御可能
・デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備
・リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
・マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
・デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ
・高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用
・耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
・金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
マスフローコントローラガス流量制御低差圧マスフローコントローラ

取扱企業
株式会社リンテック

カテゴリ

コントローラ・制御装置

マスフローコントローラ

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マスフローコントローラガス流量制御低差圧マスフローコントローラ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	流量 (N2換算)	流量制御範囲	バルブ動作	精度	再現性	応答時間	アナログ流量設定信号	アナログ流量出力信号	必要差圧	耐圧	使用保証温度	リークレート	接ガス部材質	シール材	所要電源	取付姿勢	アナログコネクタ	デジタルインターフェイス	バルブ方式	重量
	MC-3102S	要見積もり	・2~10SCCM ・~20SCCM ・~30SCCM	2~100%F.S.	ノーマリオープン、ノーマリクローズ	±1.0%F.S.	±0.2%F.S.	2sec	0~5VDC	0~5VDC	・8×102Pa~1.33×105Pa ・1.07×103Pa~1.33×105Pa ・1.33×103Pa~1.33×105Pa	1MPa (G)	5~50℃ 0~80%RH	1×10-11Pa･m3/sec He	SUS316L,SUS304,PCTFE	Au	+15VDC±3% 100mA,-15VDC±3% 200mA	ご注文時に指定	Dsub 9pin	モジュラジャック RJ45/RS-485	ピエゾアクチュエータ	1.0kg