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マスフローコントローラ ガス流量制御 高温マスフローコントローラ取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 流量 (N2換算) | 流量制御範囲 | バルブ動作 | 精度 | 再現性 | 応答時間 | アナログ流量設定信号 | アナログ流量出力信号 | 必要差圧 | 耐圧 | 使用保証温度 | ベーキング温度 | リークレート | 接ガス部材質 | シール材 | 所要電源 | 取付姿勢 | アナログコネクタ | デジタルインターフェイス | バルブ方式 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
MC-3102L-TC |
要見積もり |
10~5,000SCCM |
2~100%F.S. |
ノーマリクローズ |
±1.0%F.S. |
±0.2%F.S. |
1sec |
0~5VDC |
0~5VDC |
50~300kPa |
1MPa (G) |
・-L：80~100℃ 0~80%RH |
150℃ |
1×10-11Pa･m3/sec He |
SUS316L,PCTFE |
Au |
+15VDC±3% 100mA,-15VDC±3% 200mA |
自由 |
Dsub 9pin |
モジュラジャック RJ45/RS-485 |
ソレノイドアクチュエータ |
1.2kg |
