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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 流量 (N2換算) | 流量制御範囲 | バルブ動作 | 精度 | 再現性 | 応答時間 | 必要差圧 | 耐圧 | 温度影響 (Zero) | 温度影響 (Span) | 使用保証温度 | リークレート | 接ガス部材質 | シール材 | 所要電源 | 取付姿勢 | デジタルインターフェイス | バルブ方式 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
MC-5100C |
要見積もり |
10~5,000SCCM |
2~100%F.S. |
ノーマリオープン、ノーマリクローズ |
・100%F.S.~10%F.S.：±1.0%S.P. |
±0.2%F.S. |
1sec |
50~300kPa |
1MPa (G) |
±0.02%F.S./℃ |
±0.02%F.S./℃ |
5~50℃ 0~80%RH |
1×10-11Pa･m3/sec He |
SUS316L,PCTFE,PTFE |
SUS316L |
24VDC (180mA) ±3% |
自由 |
EtherCAT® |
ピエゾアクチュエータ |
1.0kg |
