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流体計測制御機器 流量制御バルブ ダイヤフラム式ソレノイドバルブ MODEL KSFV-100 SERIES KSFV-101-KSFV-101
流体計測制御機器 流量制御バルブ ダイヤフラム式ソレノイドバルブ MODEL KSFV-100 SERIES KSFV-101-コフロック株式会社

流体計測制御機器 流量制御バルブ ダイヤフラム式ソレノイドバルブ MODEL KSFV-100 SERIES KSFV-101
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この製品について

■概要

・特殊溶着構造でコンタミネーション残留無し リークの懸念も不要 ・H2O換算で数mL/minからの精密な流量制御が可能 ・流量の精密制御とシャットオフの二つの役割を兼ね備える ・接流体部PTFE

■バルブ構造

本製品は、特許取得の特殊溶着構造を用いたダイヤフラム式のソレノイドバルブです。コンタミネーション残留が無いため、清浄性を有し、微少流量の制御とシャットオフの2つの役割を兼ね備えています。

■一般的なダイヤフラムバルブ

シャットオフバルブとして用いられる ことが多いダイヤフラムバルブは、一般的にダイヤフラムを押さえてシールする構造なので、隙間に滞留したコンタミネーションが出続ける懸念があります。

■一般的なニードルバルブ

流量制御バルブとして用いられることが多いニードルバルブは、シャットオフするとニードルがオリフィスに接触して発塵の懸念があるため、 シャットオフバルブを別途設けるのが一般的です。

■【本製品】KSFV-100 SERIES

特殊溶着構造によりダイヤフラムの嵌め合い部分の無いバルブ部と、ソレノイドアクチュエータを組み合わせることにより、コンタミネーション残留が無く、精密流量制御とシャットオフの二つの役割を兼ね備えた新方式のバルブです。 半導体製造プロセスで求められる清浄性を有し、微少流量の制御が可能で、しかもシャットオフバルブを別途設ける必要がありません。

■液体コントロールシステム

フローメータ、バルブ、制御電源ユニットを組み合わせて、ご使用条件に最適な液体コントロールユニットをご提案いたします。

  • シリーズ

    流体計測制御機器 流量制御バルブ ダイヤフラム式ソレノイドバルブ MODEL KSFV-100 SERIES KSFV-101

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流体計測制御機器 流量制御バルブ ダイヤフラム式ソレノイドバルブ MODEL KSFV-100 SERIES KSFV-101-品番-KSFV-101

KSFV-101

要見積もり

純水、薬液、腐蝕性ガス等

0~500mL/min

0.05~0.3MPa

0.3MPa (G)

1MPa (G)

25℃±5℃

PTFE

4~20mA

24VDC

1/4”チューブエンド、Rc1/4

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電圧 V

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ポートサイズ mm

6 - 7 7 - 10 10 - 13 13 - 20

ネジ

BSPP G NPT

バルブ本体材質

アルミ PBT PEEK PPS

フローメディア

圧縮空気 フィルター付き空気 潤滑油

取り付けタイプ

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シール材質

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