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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | センサ方式 | 対象ガス | フルスケール流量 (N2換算) | 精度 | 温度係数 | 再現性 | 耐圧 | Heリークレート | 許容周囲温度 | 許容保存温度 | 許容周囲湿度 | 接ガス部材質 | 電気接続 | 流量出力信号 | 所要電源 | 継手 (本体口径) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
HFM-200W/LS (1,500SLM) |
要見積もり |
熱式巻線センサ |
N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 |
1,500SLM |
±3%F.S. (25℃) |
±0.1%F.S./℃ (15~35℃) |
±0.5%F.S. |
980kPa (G) (スムースエンド3.4MPa (G) ) |
1×10^-7Pa・m3/sec以下 |
5~45℃ |
-10~60℃ |
10~90%RH (結露なきこと) |
SUS316、Ni、FKM |
D-sub15ピン |
0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) |
+15VDC (±5%) 50mA、-15VDC (±5%) 50mA |
標準：3"NPT |
