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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | センサ方式 | バルブ方式 | 対象ガス | フルスケール流量 (N2換算) | 制御範囲 | 精度 | 温度係数 | 再現性 | 動作差圧 | 耐圧 | Heリークレート | 許容周囲温度 | 許容保存温度 | 許容周囲湿度 | 接ガス部材質 | 電気接続 | 流量設定信号 | 流量出力信号 | 所要電源 | 継手 (本体口径) | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
HFC-303 (100~300SLM) |
要見積もり |
熱式巻線センサ |
比例ソレノイド＋空圧2段バルブ (非通電時 閉) |
N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 |
100~300SLM |
2~100%F.S. |
±1%F.S. (25℃) |
±0.1%F.S./℃ (15~35℃) |
±0.25%F.S. |
個別対応 |
3.4MPa (G) (HPオプション6.8MPa (G) ) |
1×10^-7Pa・m3/sec以下 |
5~45℃ |
-10~60℃ |
10~90%RH (結露なきこと) |
SUS316、Ni、SUS302、FKM |
D-sub15ピン |
0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) |
0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) |
+15VDC (±5%) 150mA、-15VDC (±5%) 300mA |
1/2SWL (3/4-16UNF) |
約2,400g |
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