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流体計測制御機器 メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータ MODEL EX-550 SERIES取扱企業
コフロック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年11月11日にレビュー済み
顧客対応への満足度
非常に迅速で明快な回答でした
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1.60時間
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マスフローメーターの製品79点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | センサ方式 | バルブ方式 | 対象流体 | フルスケール流量 (N2換算) | 制御範囲 | 応答性 | 精度 | 再現性 | 動作差圧 | 入口最大圧 | 耐圧 | Heリークレート | 許容周囲温度 | 精度保証温度 | 許容保存温度 | 許容周囲湿度 | 接ガス部材質 | 電気接続 | 流量設定信号 | 流量出力信号 | デジタル通信 | 所要電源 | 継手 (本体口径) | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
EX-550C (MFC) |
要見積もり |
熱式巻線センサ |
比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) |
N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 |
10SCCM~5SLM |
2~100%F.S. |
全流量範囲 1sec以内 (within±2%F.S.) |
±1%S.P. (25~100%F.S.) |
±0.2%F.S. |
50~300kPa (Ar CO2：100~300kPa) |
350kPa (G) |
1MPa (G) |
1×10^-11Pa・m3/sec以下 |
5~50℃ |
15~35℃ |
-10~60℃ |
10~90%RH (結露なきこと) |
SUS316L、磁性ステンレス、PTFE |
D-sub9ピン |
0~5VDC (入力インピーダンス約1MΩ) or 4~20mA (入力インピーダンス約250Ω) |
0~5VDC (負荷抵抗10kΩ以上) or 4~20mA (負荷抵抗500Ω以下) |
RS485 |
＋15VDC (±5%) 100mA以下 |
1/4VCR相当 |
約800g |
