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メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータ EX-550 MFC/MFM/流量計/気体/マルチガス/高精度/高速応答/RS485-EX-550C (MFC)
メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータ EX-550 MFC/MFM/流量計/気体/マルチガス/高精度/高速応答/RS485-コフロック株式会社

メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータ EX-550 MFC/MFM/流量計/気体/マルチガス/高精度/高速応答/RS485
コフロック株式会社

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この製品について

■概要

・メタルシール ・S.P.精度で高精度な計測が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内 ・ロータリースイッチによるガス種切替可能 ・RS485通信機能あり、アナログ入出力0-5VDC/4-20mA選択可能、電源±15VDC/24VDC選択可能

  • シリーズ

    メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータ EX-550 MFC/MFM/流量計/気体/マルチガス/高精度/高速応答/RS485

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年11月8日にレビュー済み

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メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータ EX-550 MFC/MFM/流量計/気体/マルチガス/高精度/高速応答/RS485 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) センサ方式 バルブ方式 対象流体 フルスケール流量 (N2換算) 制御範囲 応答性 精度 再現性 動作差圧 入口最大圧 耐圧 Heリークレート 許容周囲温度 精度保証温度 許容保存温度 許容周囲湿度 接ガス部材質 電気接続 流量設定信号 流量出力信号 デジタル通信 所要電源 継手 (本体口径) 重量
メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータ EX-550 MFC/MFM/流量計/気体/マルチガス/高精度/高速応答/RS485-品番-EX-550C (MFC)

EX-550C (MFC)

要見積もり

熱式巻線センサ

比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉)

N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等

10SCCM~5SLM

2~100%F.S.

全流量範囲 1sec以内 (within±2%F.S.)
(L:50~149kPa、H:150~300kPa)

±1%S.P. (25~100%F.S.)
±0.25%F.S. (~25%F.S.)

±0.2%F.S.

50~300kPa (Ar CO2:100~300kPa)

350kPa (G)

1MPa (G)

1×10^-11Pa・m3/sec以下

5~50℃

15~35℃

-10~60℃

10~90%RH (結露なきこと)

SUS316L、磁性ステンレス、PTFE

D-sub9ピン
HR-10A×2

0~5VDC (入力インピーダンス約1MΩ) or 4~20mA (入力インピーダンス約250Ω)

0~5VDC (負荷抵抗10kΩ以上) or 4~20mA (負荷抵抗500Ω以下)

RS485

+15VDC (±5%) 100mA以下
-15VDC (±5%) 150mA以下
or 24VDC (±10%) 180mA以下

1/4VCR相当

約800g

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流量範囲 kg/h

0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 250 250 - 1,000 1,000 - 2,500 2,500 - 5,000

精度 %

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.25 0.25 - 0.35 0.35 - 1 1 - 1.5 1.5 - 3 3 - 5

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 45 45 - 110

使用温度範囲 ℃

-50 - 0 0 - 60 60 - 80 80 - 200 200 - 205

応答速度 ms

2 - 10 10 - 2,000

フルスケール流量 slm

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 1,000 1,000 - 15,000

最高使用圧力 MPa

0 - 100 100 - 300

センサ方式

熱式巻線センサ コリオリ式

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この商品の取り扱い会社情報

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企業レビュー

5.0

会社概要

コフロック株式会社は、1949年創業の流体計測制御機器/ガス発生装置メーカーです。
本社を京都府京田辺市に置き、国内には東京メインオフィスや大阪オフィス、名古屋オフィス、九州出張所などの営業拠点を設けています。<...

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  • 本社所在地: 京都府

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