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PIマスフローコントローラ ST-500 MFC/流量計/気体/高精度/高速応答/腐蝕ガス/DeviceNet/EtherCAT/RS485取扱企業
コフロック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年11月8日にレビュー済み
顧客対応への満足度
非常に迅速で明快な回答でした
初回対応までの時間への満足度
1.60時間
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マスフローコントローラの製品121点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対象流体 | センサ方式 | バルブ方式 | フルスケール流量 (N2換算) | 制御範囲 | 応答性 | 精度 | 再現性 | 動作差圧 | 入口最大圧 | 耐圧 | PI機能 | Heリークレート | 許容周囲温度 | 精度保証温度 | 許容保存温度 | 許容周囲湿度 | 接ガス部材質 | デジタルインターフェース | 所要電源 | 継手・面間寸法 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
ST-500 (100SCCM~10SLM) |
要見積もり |
気体 |
熱式巻線センサ |
比例ソレノイドバルブ (非通電時閉) |
10SCCM~10SLM |
2~100%F.S. |
1sec以内 |
±1%S.P. (10~100%F.S.) |
±0.2%F.S. |
50~300kPa |
300kPa (G) |
1MPa (G) |
Overshoot ±2%F.S. |
1×10^-11Pa・m3/sec以下 |
5~50℃ |
15~40℃ |
0~60℃ |
0~80%RH (結露なきこと) |
SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni |
DeviceNet®/EtherCAT® |
11~25VDC (5VA max) |
1.125”Wシール 92mm |
約1,000g |
マスフローコントローラをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
