流体計測制御機器 PIマスフローコントローラ MODEL ST-500 SERIES-ST-500 (100SCCM~10SLM)

流体計測制御機器 PIマスフローコントローラ MODEL ST-500 SERIES
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この製品について

■概要・PI… Pressure Insensitive：圧力変動に対し安定した流量制御が可能
・ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMFCで、EP処理及び酸化被膜処理により腐蝕性流体に対応
・DeviceNet®、EtherCAT®通信対応
・IGS Wシール継手対応
・S.P.精度で高精度な計測制御が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内
・専用アプリによるマルチレンジ機能 (30~110%F.S.) 

■PI機能従来型のマスフローコントローラは、供給側の圧力変動に過敏に反応することで、瞬間的に大きく流量が乱れるなど、制御が不安定になると いう課題がありました。ST-500は、この課題を解消するPI機能 (PI…Pressure Insensitive圧力鈍感性) を新たに備えたマスフローコントローラです。

流量センサ前段に圧力センサを搭載しており、そこで捉えた圧力変動を変動前の圧力と比較しリアルタイムでバルブ開度に補正をかけることで、圧力変動に対して安定した流量制御を行うことが可能です。半導体製造装置など、安定性や正確性が必要となるガス供給プロセスに適しておりま す。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
流体計測制御機器 PIマスフローコントローラ MODEL ST-500 SERIES

取扱企業
コフロック株式会社

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流体計測制御機器 PIマスフローコントローラ MODEL ST-500 SERIES 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対象流体	センサ方式	バルブ方式	フルスケール流量 (N2換算)	制御範囲	応答性	精度	再現性	動作差圧	入口最大圧	耐圧	PI機能	Heリークレート	許容周囲温度	精度保証温度	許容保存温度	許容周囲湿度	接ガス部材質	デジタルインターフェース	所要電源	継手・面間寸法	重量
	ST-500 (100SCCM~10SLM)	要見積もり	気体	熱式巻線センサ	比例ソレノイドバルブ (非通電時閉)	100SCCM~10SLM	2~100%F.S.	1sec以内	±1%S.P. (10~100%F.S.) ±0.1%F.S. (2~10%F.S.)	±0.2%F.S.	50~300kPa	300kPa (G)	1MPa (G)	Overshoot ±2%F.S.	1×10^-11Pa・m3/sec以下	5~50℃	15~40℃	0~60℃	0~80%RH (結露なきこと)	SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni	DeviceNet®/EtherCAT®	11~25VDC (5VA max)	1.125”Wシール 92mm 1/4”VCR相当	約1,000g