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DCスパッタリング電源 HSPN-4取扱企業
有限会社エイチ・エス・エレクトリックカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 入力電圧 | 出力電圧 イグニッション | 出力電圧 定格 | 出力設定 ローカル | 出力設定 リモート | 制御モード | 操作場所 | 出力安定度 | 冷却方式 | 保護機能 | 外部I/F 出力設定 | 外部I/F 出力ON/OFF | 外部I/F 出力アンサー | 外部I/F 異常一括 | 外部I/F 異常リセット | 外部I/F 出力モニター | 異常放電保護 標準 | 異常放電保護 オプション | 出力電力Po (kW) | 最大電流lr (A) | 幅 (mm) | 高さ (mm) | 奥行 (mm) |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
HSPN-4 |
要見積もり |
3相、180V~242V、50/60Hz |
約1,100V |
800V |
10回転ポテンションメータ |
0~10V |
定電力 (CP) /定電流 (CP) /定電圧 (CV) /選択切替 |
リモート/ローカル 選択切替 |
±1%以下 (各制御モードにおいて10~100%) |
強制空冷 |
過電圧/過熱/ヒューズ断線/外部インターロック |
0~10V/0~定格 |
接点クローズ/24V印加 |
フォトカブラ |
フォトカブラ |
接点クローズ/24V印加 |
電力・電流・電圧 各0~10V |
異常アーク発生時一定時間出力停止、自動復帰 |
低アーク処理 |
4 |
10 |
480 |
149 |
600 |