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超高真空L型オールメタルバルブ (真空バルブ) -951-7148
超高真空L型オールメタルバルブ (真空バルブ) -キヤノンアネルバ株式会社

超高真空L型オールメタルバルブ (真空バルブ)
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

10^-8 Pa以下まで使用できる全金属製の超高真空L型バルブです。400 ℃または450 ℃までのベークを伴う超高真空装置にも使用可能です。 本バルブは10^-8 Pa以下まで使用できる、全金属製の超高真空L型バルブです。400 ℃または450 ℃までベークアウトができ、ハードベークを伴う超高真空装置用バルブとして適しています。 特長

■超高真空領域用

10-8 Pa以下の超高真空領域まで使用できる全金属製バルブ

■Capturingシール構造

弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を採用

■優れた許容加熱性

400 ℃または450 ℃までのベークアウトが可能

■その他

容易なガスケット交換

■主要部材質

・ボディ : SUS-304 ・ベローズ : SUS-304 ・弁封止用ガスケット : 銅合金 ・ボンネットガスケット : SUS-321銀メッキメタル ・中空“O”リング

■添付品

・ガスケット取外し治具 : 1S ・ハンドル : 1個 ・呼び2.5六角棒スパナ : 1本 ・呼び4六角棒スパナ : 1本 ・ワイヤブラシ : 1個 ・予備ワッシャ : 大、小各1個 計2個 ・予備ガスケット : 1個

  • シリーズ

    超高真空L型オールメタルバルブ (真空バルブ)

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超高真空L型オールメタルバルブ (真空バルブ) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用真空領域 リーク量 全開時コンダクタンス 許容加熱温度 初期封止トルク 最大封止トルク 接続フランジ 質量 適用トルクレンチ (オプション)
超高真空L型オールメタルバルブ (真空バルブ) -品番-951-7148

951-7148

要見積もり

大気圧 ~ 10^-8 Pa以下

6.7×10^-11 Pa・m3/s以下

4 L/s

400 ℃

約15.7 N・m

23.5 N・m

φ34ICFフランジ

0.7 kg

460F (角ドライブ寸法□9.53 mm) 、 (JIS B4650プレート形呼び450相当)

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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