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超高真空L型ポリイミドバルブ (真空バルブ) -951-7145
超高真空L型ポリイミドバルブ (真空バルブ) -キヤノンアネルバ株式会社

超高真空L型ポリイミドバルブ (真空バルブ)
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

10^-8 Pa程度の超高真空領域まで使用できるL型バルブです。真空シールにポリイミド樹脂を使用し、300 ℃までのベーキングが可能です。 本バルブは、10^-8 Pa程度の超高真空領域まで使用できるL型バルブです。真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少いポリイミド樹脂を使用しております。150 ℃以上のベーキングを伴なう超高真空装置用バルブとして適しています。 特長

■すぐれた許容加熱性

ポリイミド・シールは開閉いずれの場合でも室温から最高300 ℃までの繰り返しベーキングに対応

■ガス放出の少いシール材

ポリイミド樹脂のガス放出は、ふっ素ゴム (バイトン) と比較すると少いので10-8 Pa程度の超高真空を容易に達成

■小さな締付けトルク

ポリイミド・シールの締付けトルクはメタルシールほど大きなトルクは不要

  • シリーズ

    超高真空L型ポリイミドバルブ (真空バルブ)

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超高真空L型ポリイミドバルブ (真空バルブ) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用真空領域 許容加熱温度 シール材 (ガスケット) 推奨締付シール力 (参考締付トルク) 最大締付シール力 (参考締付トルク) 操作 コンダクタンス リーク量 使用材料 接続フランジ 質量
超高真空L型ポリイミドバルブ (真空バルブ) -品番-951-7145

951-7145

要見積もり

大気圧~10^-8 Pa程度

300 ℃

ポリイミド樹脂

1,225 ~ 1,921 N (2~3.4 N・m)

2,626 N (5.9 N・m)

手動

1L/s

6.7×10^-11 Pa・m3/s以下

本体 : SUS-304、ベローズ : SUS-304L、ハンドル : AL合金 (黒色アルマイト)

φ34ICFフランジ

0.41 kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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