真空計クリスタルゲージ M-320XG
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

水晶振動子の共振インピーダンスの変化が圧力で変化することを利用した真空計で、大気圧から10-2 Paまでの広い圧力範囲の測定が可能です。

大気圧から1×10^-2 Paまでの広い範囲にわたって、信頼性の高い測定が出来ます。水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用していますので、はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能です。チャンバの大気圧ベント検出用の圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。

特長
■広い測定範囲大気圧から1×10^-2 Paまで、優れた再現性で測定が可能

■高い安全性クリスタルゲージは、熱源 (フィラメント) を持たない真空計

■コンパクト、超軽量コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200 g

■用途・各種真空装置のあら引き圧力の測定
・各種プロセスの圧力測定
・チャンバーベント等の検出用圧力スイッチ
・その他大気圧から10-2 Pa台までの圧力測定

■アナログ出力 (圧力信号) DC 0 - 10 V：デジットスイッチにより下記項目出力形式設定
・Log出力
・複合出力
・リニア出力　フルスケール圧力レンジ選択可能 (1×10^1、1×10^2、1×10^3、1×10^4、1×10^5 Pa) 

リモートI/O
■INPUT・ガス種設定　2bit信号で切換
・ゼロ点調整
・ATM設定

■OUTPUTセットポイント出力2点

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
真空計クリスタルゲージ M-320XG

取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社

カテゴリ

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真空計クリスタルゲージ M-320XG 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定球	測定圧力範囲	Gas種選択	セットポイント	動作環境	ゼロ点調整	フルスケール調整	入出力コネクタ	表示	所要電力	外形寸法 (mm)	質量	センサー取り付けフランジ
	M-320XG	要見積もり	XG-1クリスタルゲージヘッド (クリスタルゲージ専用)	1×10^-2 Pa ~ 大気圧	N2、Ar、H2、Air	2点 (フォトカプラ出力、ヒステリシス固定) 、デジットスイッチにより設定 (SP1、SP2共仮数部、指数部)	5 ℃ ~ 50 ℃ (コントローラー含む) 、ゲージヘッドのみの耐熱温度150℃MAX	PUSHスイッチ又は、リモートI/O入力によるソフトウェアゼロ調整	トリマーボリュームによる調整	Dsub 15P	LED 3ヶ (PWR／ALM･･･緑／赤の2色発光、SP1-Status･･･緑、SP2-Status･･･緑)	DC 22 V ~ 33 V、 (最大消費電力2 W)	72.5H×102W×44.5D (ゲージヘッド含まず)	200 g (ゲージヘッド含まず)	NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等