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ワイドレンジ電離真空計 M-431HG-M-431HG
ワイドレンジ電離真空計 M-431HG-キヤノンアネルバ株式会社

ワイドレンジ電離真空計 M-431HG
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

ミニチュアB-Aゲージ用のコントロールユニットで、外部入出力、RS-232C通信機能を標準装備しています。 M-431HGは、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。

■特長

・外部入出力、RS-232C通信機能を標準装備 ・入力電圧はワイド電圧 ・CEマーキング、RoHSに対応

■用途

・自動化真空装置の圧力測定 ・スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御 ・マルチチャンバシステムでの圧力測定 ・一般真空装置の圧力測定

■外部制御機能 (リモート操作)

・INPUT:フィラメントON/OFF、パラメータLOCK、フィラメント切換、デガスON/OFF、レンジホールド ・OUTPUT:セットポイント1,2、フィラメントON/OFFステータス、デガスステータス、フィラメント1/2ステータス

  • シリーズ

    ワイドレンジ電離真空計 M-431HG

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ワイドレンジ電離真空計 M-431HG 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 圧力表示範囲 圧力表示 セットポイント D/A出力 アナログ出力 通信機能 外形寸法 (mm) ・質量 消費電力 エミッション電流 ガス出し フィラメント切替 フィラメント保護 標準構成 対応
ワイドレンジ電離真空計 M-431HG-品番-M-431HG

M-431HG

要見積もり

0.01×10^-7 ~ 13.2×10^0 Pa

デジタル、測定レンジ自動切換

2点標準装備 (ヒステリシス付き)

Logまたは複合出力切換 (0 ~ 10 V)

0 ~ 10 V (APC対応出力)

RS232C標準搭載 (9600、4800、2400、1200bps)

104W X 99H X 296D 1.2 Kg

50 VA AC90 ~ 240 V 50/60 Hz

10 μA、100 μA、1 mA (自動切換えまたは固定)

グリッド通電加熱方式、通電タイマー3分

キー及びリモートI/O操作

13.3×10^0 PaにてフィラメントOFF

真空計本体 (測定球及び、ケーブルは構成品に含まれません)

CEマーキング、RoHS

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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