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ワイドレンジ電離真空計 M-833HG-M-833HG
ワイドレンジ電離真空計 M-833HG-キヤノンアネルバ株式会社

ワイドレンジ電離真空計 M-833HG
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

ミニチュアB-Aゲージ用のコントロールユニットで、外部入出力を標準装備、オプションボードで機能拡張が可能モデルです。 M-833HGは、ミニチュアB-Aゲージ専用のコントロールユニットです。オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードが用意されています。ミニチュアB-AゲージとTCゲージ (オプション) のコンビネーション及び、ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、大気圧~超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。高真空~超高真空装置搭載に最適です。

■特長

・豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ・セットポイントを2点標準装備 ・最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性が充実 (注記:GP-IBオプションには未対応) ・CEマーキング、RoHSに対応

■用途

・自動化真空装置の圧力計測 ・スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御 ・マルチチャンバシステムでの圧力測定 ・一般真空装置の圧力測定

  • シリーズ

    ワイドレンジ電離真空計 M-833HG

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ワイドレンジ電離真空計 M-833HG 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定球 圧力表示範囲 圧力表示 セットポイント D/A出力 アナログ出力 (エレクトロメータ出力) 外部制御機能 (リモート操作) INPUT 外部制御機能 (リモート操作) OUTPUT 特殊機能 外形寸法 (mm) ・質量 所要電力 エミッション電流 ガス出し フィラメント切換 フィラメント保護 標準構成 対応
ワイドレンジ電離真空計 M-833HG-品番-M-833HG

M-833HG

要見積もり

ミニチュアゲージMG-2シリーズ

0.1×10^-7 ~ 1.32×10^1 Pa

測定レンジ自動切換

2点標準装備 (オープンコレクタ)

0 ~ 10 V:仮数部出力、指数部出力、0 ~ 11 V:複合出力又はLog出力

APCモード設定時 (0.1 ~ 2.5 V) 、ノーマルモード設定時 (0.1 ~ 1.6 V)

フィラメントON/OFF、デガスON/OFF、等6種類の外部制御機能

6種類のステータス信号出力

APC対応:レンジホールド機能、エレクトロメータ出力機能

H99×W209×D330、1.9 kg (オプションボード未装着時)

100 ~ 240 VAC、100 VA以下、50/60 Hz

10 μA、100 μA、1 mA自動切換設定または固定設定

グリッド通電加熱方式

キー及び、リモートI/O操作

オーバーレンジ設定値またはエミッション電流±50%の変動

真空計本体 (測定球及びケーブルは構成品に含まれません)

CEマーキング、RoHS

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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