電離真空計 M-723HG、M-823HG、M-923HG
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

B-Aゲージ球、ワイドレンジB-Aゲージ球、ヌ－ドイオンゲ－ジの各ゲージ球用コントロールユニットで、オプションボードで機能拡張が可能です。

多様なゲージに対応する豊富な拡張ボードを備えた最も一般的なB-A型電離真空計シリーズです。真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能やレンジホールド機能を標準で備えています。CC-Linkで通信制御を行えるタイプも用意してあります。M-823HGで大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。

■特長・圧力レンジは自動切換
・圧力及び種々のメッセージが液晶表示
・豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
・セットポイントを2点標準装備

■用途・自動化真空装置の圧力測定
・スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
・マルチチャンバシステムでの圧力測定
・一般真空装置の圧力測定

I/Oリモート
■INPUT・フィラメントON/OFF入力
・デガスON/OFF入力
・フィラメントインヒビット入力
・レンジホールド1入力
・レンジホールド2入力
・フィラメント切換入力
・ゲージ1/2切換入力 (ゲージセレクタオプション使用時) 

■OUTPUT・フィラメントON/OFF出力
・デガスON/OFF出力
・リモート/ローカル出力
・セットポイント出力 (2点) 
・ゲージ1/2セレクト出力 (ゲージセレクタオプション使用時) 
・パワーON/OFF出力
・フィラメント1/2出力
・アラーム出力

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
電離真空計 M-723HG、M-823HG、M-923HG

取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社

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電離真空計 M-723HG、M-823HG、M-923HG 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定球	圧力測定レンジ (Pa)	測定レンジ切換	ガス出し	フィラメント切換	フィラメント保護	アナログ出力	セットポイント	外形寸法 (mm)	所要電力	質量	標準構成
	M-723HG	要見積もり	UGD-1S B-Aゲージ球	5レンジ自動切換 10^-2、10^-3、10^-4、10^-5、10^-6	自動切換え (レンジホールド可)	グリッド通電加熱方式	前面パネルと外部制御入力により切換可 (M823HGを除く)	圧力、イオン電流、エミッション電流の変動幅のいずれかに問題があると自動的にOFFする。	D/A出力 (仮数部D/A出力、指数部D/A出力、複合D/A出力) アナログ生出力 (エレクトロメータ出力)	2セットポイント標準装備 (オープンコレクタ)	H99×W209×D330	AC100 V±10 ％2 A、50/60 Hz (AC115/200/230 Vにも対応可能)	5.4 kg (オプションボード未装着時)	真空計本体 (測定球およびケーブルは構成品に含まれません)