真空計キャパシタンスゲージ M-342DG
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

外部環境からの影響を最小限に抑え、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。

キャパシタンスゲージ“M-342DG”は、圧力センサ部に小型シリコンMEMSチップを採用することで、温度、振動、気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑え、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。

特長
■高精度で安定した圧力測定・優れたゼロ点安定性
・温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現
・優れた耐振動ノイズ性能

■コンパクト・低消費電力・質量200 g、サイズW46 mm×H49 mm×L106 mmと軽量でコンパクト (※1) 
・消費電力0.5 W
※1　質量とサイズは、継ぎ手NW16仕様の場合

■用途真空中の圧力の高精度・長期間安定測定に幅広く対応

■半導体、ディスプレイ、太陽電池など各種真空装置・スパッタリング、PECVDなどの真空成膜プロセス圧力の制御、モニタリング
・ロードロック室、ウエハ冷却などのガス導入プロセス、システムの圧力管理

■医療、バイオ、食品他各種産業、並びに各種研究開発用途各種コーティング、プラズマ処理、真空封止、真空炉、分析装置、滅菌、真空ポンプ評価、分子蒸留　など

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
真空計キャパシタンスゲージ M-342DG

取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社

カテゴリ

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真空計キャパシタンスゲージ M-342DG 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	フルスケール圧力 (Pa)	測定精度 (％ of reading)	ゼロ点温度係数 (％ of F.S./℃)	スパン温度係数 (％ of reading/℃)	分解能 (％ of Full-scale)	測定下限圧力 (％ of Full-scale)	実用測定下限圧力 (％ of Full-scale)	実用制御下限圧力 (％ of Full-scale)	応答速度 (ms)	加圧上限	電源電圧 (VDC)	消費電力 (W)	アナログ出力 (VDC)	使用温度/保管温度 (℃)	最大ケーブル長 (m)	ゼロ点調整方法	入出力コネクタ	接ガス部材質	フランジﾞ形状と質量	対応	安全保障貿易管理規制	対応表示器
	M-342DG -1D	要見積もり	13.33	0.20 (at 23 ℃)	0.01	0.01	0.01	0.01	0.05	0.5	100	200 kPa (但しNW16、NW25のものは内部が陽圧にならないこと) *13.33 Pa仕様は130 kPa	+13.5~26.4	0.5	0~10	0~50/-20~70 (非動作時)	100 (専用ケーブル)	プッシュスイッチ、リモート入力	D-sub9ピン (オス)	SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム	NW16 (200 g) 、NW25 (210 g) 、8-VCR メス (250 g) 、φ70ICF (460 g)	CEマーキング、RoHS、IP40	非該当	M-601GC (1ch接続タイプ) 、M-603GC (3ch接続タイプ)