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真空計 コールドカソードピラニゲージ M-361CP-M-361CP-SP セットポイント付タイプ
真空計 コールドカソードピラニゲージ M-361CP-キヤノンアネルバ株式会社

真空計 コールドカソードピラニゲージ M-361CP
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

ピラニ真空計と冷陰極型電離真空計のコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空までの広い圧力領域を1台で測定可能です。 大気圧~中真空を測定するピラニゲージと、高真空~超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。1台で広い圧力領域を測定可能です。1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献します。

■特長

・優れた測定安定性 ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減 ・優れた大気圧検出を実現 本器搭載のピラニゲージは、大気圧付近で安定性・再現性が高く、応答性は隔膜真空計と同等 ・簡易なメンテナンス コールドカソードのメンテナンスは部品交換のみ ※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。

■用途

超高真空~大気圧まで、各種真空測定に幅広く対応 (例) エレクトロニクス・光学:蒸着、コーティング、電子ビームマスク描画、スパッタリング、イオン注入、MBE 分析:電子顕微鏡、SIMS、AES、XPS他、各種表面/ガス/質量分析 各種工業:アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接、冶金、分子蒸留、ガス充填 高エネルギー物理:加速器、サイクロトロン

  • シリーズ

    真空計 コールドカソードピラニゲージ M-361CP

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真空計 コールドカソードピラニゲージ M-361CP 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 圧力測定範囲 入力電圧 消費電力 アナログ出力 セットポイント 入出力コネクタ 最大ケーブル長 使用温度範囲 保存温度範囲 センサ-型名 センサー材質 (主要部) 外形寸法 (mm) フランジ形状 対応
真空計 コールドカソードピラニゲージ M-361CP-品番-M-361CP-SP セットポイント付タイプ

M-361CP-SP セットポイント付タイプ

要見積もり

1×10^-7 ~ 1×10^5 (Pa)

DC+15 ~ 30 V

2.4 W

0 ~ 10 V

2接点出力 (DC30 V,1 A)

D‐sub9ピン

300 m (1 mm2)

5 ~ 55 ℃

-20 ~ 70 ℃ (非動作時)

CP2

フィラメント:W、電極:Mo、絶縁石:Al2O2、ケース:SUS304

50 (W) ×50 (D) ×110 (L) (継ぎ手 NW25仕様)

NW25、NW40、φ70ICF

CEマーキング、RoHS、IP40

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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