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真空計 コールドカソードゲージ M-370CG-M-370CG-SP セットポイント付タイプ
真空計 コールドカソードゲージ M-370CG-キヤノンアネルバ株式会社

真空計 コールドカソードゲージ M-370CG
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

熱フィラメントを使用していないため、未放電による測定停止・圧力表示値のフラツキを低減し、安定した圧力測定を実現する冷陰極型電離真空計です。 熱フィラメントを使用しておらず堅牢なコールドカソードゲージ (冷陰極電離真空計) です。高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現します。 特長

■優れた測定安定性

未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを削減

■高真空下での良好な機動性

未放電、放電遅れを解消

■簡易なメンテナンス

メンテナンスは部品交換のみ ※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。

■用途

1 Pa~超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応 ・蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE ・SEM、SIMS、AES、XPS、各種表面/ガス/質量分析 ・アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接 ・加速器、サイクロトロン

  • シリーズ

    真空計 コールドカソードゲージ M-370CG

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真空計 コールドカソードゲージ M-370CG 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 圧力測定範囲 入力電圧 消費電力 アナログ出力 セットポイント 入出力コネクタ 最大ケーブル長 使用温度範囲 保存温度範囲 センサ-型名 センサー材質 (主要部) 外形寸法 (mm) フランジ形状 対応
真空計 コールドカソードゲージ M-370CG-品番-M-370CG-SP セットポイント付タイプ

M-370CG-SP セットポイント付タイプ

要見積もり

1×10^-7 ~ 1×10^0 (Pa)

DC+15 ~ 30 V

2.4 W

0 ~ 10 V

2接点出力 (DC30 V,1 A)

D‐sub9ピン

300 m (1 mm2)

5 ~ 55 ℃

-20 ~ 70 ℃ (非動作時)

CC1

電極:Mo、絶縁石:Al2O2、ケース:SUS304

50 (W) ×50 (D) ×110 (L) (継ぎ手 NW25仕様)

NW25、NW40、φ70ICF

CEマーキング、RoHS、IP40

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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