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真空ポンプ イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置 P-500-P-511 IP
真空ポンプ イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置 P-500-キヤノンアネルバ株式会社

真空ポンプ イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置 P-500
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置です。超高真空型と高出力型があり、接続するポンプにより動作可能圧力範囲と起動可能圧力が異なります。 10^-2 Pa~10^-4 Pa以下の高真空からイオンポンプ又はノーブルポンプを運転する制御装置です。表示は緑色の大型LEDを採用して、離れた位置からの視認性を向上しました。従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を実現しています。充実したI/O機能に加えて、オプションボード追加によってRS232C通信への対応が可能など自動化装置・遠隔操作用装置に最適です。 イオンポンプ用とノ-ブルポンプ用それぞれに、超高真空型と高出力型の2タイプがあり、接続するポンプにより、動作可能圧力範囲と起動可能圧力が変わります。 特長

■高性能

電流値・電圧値のモニタ時の表示可能最小値の改善、圧力表示の追加、各種保護機能など、高電圧電源に必要な基本機能を高いレベルで実現 ハードプロセス対応

■充実の機能

セットポイント2点標準装備など各種I/O標準装備で外部制御に対応 停電自動復帰 (選択可能)

■高互換性

従来機種とリモ-トコネクタ、入力ケーブル、出力ケーブルの互換性を確保

■通信対応

RS232C (オプション (工場組込対応) )

■適合規格

CEマーキング、RoHS指令 適合

■用途

電子顕微鏡、電子線描画装置、イオンビ-ム装置、マスクリペア装置、蓄積リング、ビームライン等の加速器関連システム、MBE、表面分析装置等の超高真空装置、各種分析装置 など

  • シリーズ

    真空ポンプ イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置 P-500

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真空ポンプ イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置 P-500 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応ポンプ 最大出力電圧 最大出力電流 入力電圧 消費電力 外形寸法 質量 使用温度/湿度 使用環境 表示範囲 出力電圧 表示範囲 出力電流 表示範囲 圧力 保護機能 圧力接点 REMOTEモード 対応
真空ポンプ イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置 P-500-品番-P-511 IP

P-511 IP

要見積もり

全てのイオンポンプ

DC+5.2 KV ±10 %/DC+7.5 KV ±10 %/DC+3.5 KV ±10 % プログラムモードでの切換式

43 mA以上

AC90 ~ 250 V 50/60 Hz単相 (マルチ電圧入力)

最大 約500VA

W209×H99×D370 mm (1/2ラックサイズ)

約6 Kg (オプションボード未装着)

0 ~ 40 ℃/85 % RH以下 (結露無きこと)

屋内使用/標高2,000m以下/汚染度:2/設置カテゴリー:Ⅱ

0.1×103 V (0.1 KV) ~ 8.0×103 V (8.0 KV)

0.1×10-7 A (10 nA) ~ 5.0×10-1 A (500 mA)

1.1×10-9 ~ 1.0×10-3 Pa (接続するポンプにより表示範囲が変わります) 11L/s及び8 L/sの場合、表示機能無し

各種保護機能有り 保護機能動作時は表示部にエラーと番号表示

1μA~99mAの範囲で2点設定可能

前面パネルのREMOTEスイッチにてREMOTE/LOCALの切換が可能

CEマーキング、RoHS

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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