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ウエハースケールグラフェン合成装置 nanoCVD-WGP-nanoCVD-WGP
ウエハースケールグラフェン合成装置 nanoCVD-WGP-テルモセラ・ジャパン株式会社

ウエハースケールグラフェン合成装置 nanoCVD-WGP
テルモセラ・ジャパン株式会社



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この製品について

■概要

欧州のアカデミックパートナー (Manchester, Warwick,etc..) の協力の下、実績ある卓上型 nanoCVD-8G (試 料サイズ 20mm) に加え、更にウエハースケールでのグラフェン合成装置を開発しました。 Φ3inch、4inch ウエハーサイズ対応 コールドウオール式プラズマCVD 装置。 不純物を抑制し清浄・高品質なグ ラフェンを高速合成。 熱 CVD、 低温~高温プラズマCVD いずれの方法でも利用可能。マスフローガス供給系統、 基板加熱ヒーターなどご要望により構成をカスタマイズ致します。

■用途

・基板:Cu, Ni, 他 (フィルム, フォイル) ・原料:CH4, C2H4, solids (PMMA) , etc ・プロセスガス:H2, Ar, N2, etc ・基板サイズ:Φ3inch, Φ4inch ・150W, 13.56MHz RF 電源 ・500℃~Max1,100℃基盤加熱 ・高精度プロセスガス圧力 APC 制御 ・マスフローコントローラー 最大 4ch

  • シリーズ

    ウエハースケールグラフェン合成装置 nanoCVD-WGP

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ウエハースケールグラフェン合成装置 nanoCVD-WGP 品番1件

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

半導体・電子部品などの研究・開発・製造プロセスに必要な要素である「熱」応用製品の販売を基盤とし、「基板加熱ヒーター」「温度計測機器」「実験炉」「薄膜実験装置」他企画開発商品の販売を行うことにより先端分野発展の一旦を担い、...

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