ANNEAL 卓上型ウエハーアニール装置
テルモセラ・ジャパン株式会社

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要3台までのMFCによる高精度プロセス雰囲気制御、操作性に優れたタッチパネル、安定した温度制御・優れた面内均一性。プロセス条件に合わせて3種類のヒーター熱源を選択可能な加熱ステージ、多目的なR&D用卓上ウエハーアニール装置。ANNEAL卓上型ウエハーアニール装置は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温処理が可能な研究開発用アニール装置です。
高真空SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1,000℃までの高温熱処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保されており、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、APCプロセス自動圧力制御システムなどのオプションも豊富に揃えております。
バルブ開閉、ポンプ・ゲージなど付属機器の起動などの操作が分散せず、全て前面7”タッチパネルより操作, データ管理など一元管理が可能。

■ハロゲンランプヒーター:Max500℃遠赤外線加熱による高効率・高速基板加熱。基板温度で約350℃までのアニール処理が可能。最も廉価なオプションですが、急速加熱・急冷ができ、さらに均一熱処理にも優れており、コストパフォーマンスの高い発熱源です。

■C/Cコンポジットヒーター:Max1,000℃C/Cコンポジット素線を使用することにより、最高制御温度1,000℃, 基板温度約850℃程度までの高温アニール処理が可能です。一般的な抵抗発熱体と比較し機械的強度に優れている為熱変形が少なく、又急速昇温も可能です。*C/Cコンポジットは350℃以上より酸化します為、O2使用の際はSiCコーティングをご使用下さい。

■SiCコーティング・グラファイトヒーター:Max1,000℃最高制御温度1,000℃、基板温度で約850℃までの超高温アニール処理が可能。SiCコーティング処理により、高温環境下でもC/Cコンポジット発熱体の酸化を防ぎます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ANNEAL 卓上型ウエハーアニール装置

取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社

カテゴリ

熱源

加熱炉

加工・工作機器

加熱装置

加工・工作機器

アニール炉

この商品に関する問題を報告する

80人以上が見ています

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

加熱炉注目ランキング

加熱炉の製品299点中、注目ランキング上位6点

工業炉・熱処理装置ロータリーキルン (回転レトルト炉)

サンファーネス株式会社

640人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

工業用カバー付きホットプレート/加熱炉 PA-CCシリーズ

株式会社MSAファクトリー

490人以上が見ています

1,700℃昇降式高温電気炉 OSK 93TI123

オガワ精機株式会社

4.5 企業レビュー

480人以上が見ています

最新の閲覧: 1分前

スポット集光型赤外線ゴールドイメージ炉 MIROシリーズ

三弘エマテック株式会社

5.0 企業レビュー

440人以上が見ています

最新の閲覧: 17時間前

真空制御・加熱/Vacuum Oven 真空加熱炉・真空乾燥炉・VCD PH225シリーズ

株式会社MSAファクトリー

420人以上が見ています

最新の閲覧: 23時間前

工業炉・熱処理装置真空炉

サンファーネス株式会社

410人以上が見ています

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

見積もりの使い方

加熱炉注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

1,700℃昇降式高温電気炉 OSK 93TI123

オガワ精機株式会社

4.5 企業レビュー

480人以上が見ています

最新の閲覧: 1分前

返答時間: 13.87時間

1,200℃小型ボトムローディング炉 OSK 97TG 12BL

オガワ精機株式会社

4.5 企業レビュー

410人以上が見ています

最新の閲覧: 23時間前

返答時間: 13.87時間

1,400℃小型ボトムローディング炉 OSK 97TG 14BL

オガワ精機株式会社

4.5 企業レビュー

380人以上が見ています

最新の閲覧: 11時間前

返答時間: 13.87時間

1,700℃小型ボトムローディング炉 OSK 97TG 17BL

オガワ精機株式会社

4.5 企業レビュー

380人以上が見ています

返答時間: 13.87時間

1,200℃小型昇降式電気炉 OSK 93TI121

オガワ精機株式会社

4.5 企業レビュー

360人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

返答時間: 13.87時間

1,800℃昇降式高温電気炉 OSK 93TI124

オガワ精機株式会社

4.5 企業レビュー

350人以上が見ています

返答時間: 13.87時間

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

見積もりの使い方

ANNEAL 卓上型ウエハーアニール装置品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	ウエハーサイズ	プロセスガス	真空排気系	到達真空度	温度センサー	オプション
	ハロゲンランプヒーターMax500℃	要見積もり	Φ4inch、又はφ6inch	最大3系統 MFC付属	ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ、WRGワイドレンジゲージ	5×10-5Pa	Kタンプ熱電対	・APC プロセス圧力自動制御パッケージ・キャパシタンスマノメータ、大気圧制御モジュール・H2ガス希釈モジュール、ドライスクロールポンプ