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Levitor RTP System 200mm/300mmウェーハRTPアニール装置 LEVO6000取扱企業
株式会社エイチ・ティー・エルカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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LEVO6000 |
要見積もり |
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温度範囲 ℃
100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,300 1,300 - 1,500 1,500 - 1,800昇温速度 ℃/sec
10 - 25 25 - 50 50 - 100 100 - 150降温速度 ℃/sec
10 - 50 50 - 100 100 - 150