全てのカテゴリ

閲覧履歴

Levitor RTP System 200mm/300mmウェーハRTPアニール装置 LEVO6000-LEVO6000
Levitor RTP System 200mm/300mmウェーハRTPアニール装置 LEVO6000-株式会社エイチ・ティー・エル

Levitor RTP System 200mm/300mmウェーハRTPアニール装置 LEVO6000
株式会社エイチ・ティー・エル



無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

150umガスベアリングによる伝導熱アニールで、ランプ型放射熱アニールの問題を解決。

■特長

・900℃/秒の急速加熱、-300℃/秒の急速冷却。 ・面内均一な加熱冷却で、ウェーハの反りを抑制し、フォトリソの歩留まりを改善。 ・200℃の低温からから1,100℃まで、Wafer-to-Waferの温度安定性。 ・高スループットアニール:スパイク=0.1秒115 wph / ソーク=20秒86wph ph ・様々な適用プロセス・ガスで、抜群の安定性 ・Levitor4000:安定ガス、LEVO6000:活性ガス (水素、アンモニア等)

  • シリーズ

    Levitor RTP System 200mm/300mmウェーハRTPアニール装置 LEVO6000

この製品を共有する



無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

Levitor RTP System 200mm/300mmウェーハRTPアニール装置 LEVO6000 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
Levitor RTP System 200mm/300mmウェーハRTPアニール装置 LEVO6000-品番-LEVO6000

LEVO6000

要見積もり

フィルターから探す

アニール炉をフィルターから探すことができます

温度範囲 ℃

100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,300 1,300 - 1,500 1,500 - 1,800

昇温速度 ℃/sec

10 - 25 25 - 50 50 - 100 100 - 150

降温速度 ℃/sec

10 - 50 50 - 100 100 - 150

この商品を見た方はこちらもチェックしています

アニール炉をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社エイチ・ティー・エルは、半導体・液晶用関連装置を中心に、装置販売や装置用ソフトウエア開発を行う会社です。 1994年に東京都立川市で設立されました。プラズマ関連装置、光3Dプリンターなど各メーカー品の販売を行う...

もっと見る

  • 本社所在地: 東京都

関連キーワード

最近見た製品

Copyright © 2025 Metoree