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フォトマスク描画装置 マスク描画装置 Pegasus1416取扱企業
株式会社エイチ・ティー・エルカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 描画速度 | 最小線幅 (L/S) | アドレスグリッド | CD 均一性 | CD 直線性 | レジストレーション |
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Pegasus1416 |
要見積もり |
13 mm/s (2,412 mm2/min., Target) |
750 nm |
1 nm (CAD 設計グリッド) |
60 nm |
50 nm |
90 nm (Target) |
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