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半導体露光装置の製品26点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ウェハサイズ | タクトタイム | アライメント精度 | 光源 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
MA-4000 |
要見積もり |
φ4"andφ6"×t0.5~0.8mm |
Subjecttosoftcontactmode: 20s/wafer (Oneparallelismcompensationperlot) |
:Within+/-1μm (Originalmethod) :Within+/-2μm (Patternmatching) |
Super-highpressuremercurylamp:500W |
裏面アライメント,マスクのオートアライメントデータログの保存,反り基板対応,その他 |
