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露光装置 セミオートアライナー MA-1200A-MA-1200A
露光装置 セミオートアライナー MA-1200A-株式会社菱光社

露光装置 セミオートアライナー MA-1200A
株式会社菱光社

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この製品について

■特長

・他品種・小ロット生産や実験・研究に最適な手動露光装置。 (有効露光範囲φ6 inch) ・フットプリントを縮小することで省スペースを実現。座っての作業も可能。 ・独自のミラー・レンズ光学系と高速画像処理を搭載。単眼アライメントも可能。裏面アライメント機能搭載可能 ・4つの露光モードに対応。 (プロキシミティ,バキュームコンタクト,ハードコンタクト,ソフトコンタクト) ・カット基板の露光が可能

  • シリーズ

    露光装置 セミオートアライナー MA-1200A

企業レビュー 5.0

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2025年4月10日にレビュー済み

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露光装置 セミオートアライナー MA-1200A 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 基板サイズ マスクサイズ アライメント ギャップ 解像力 光源 寸法・重量
露光装置 セミオートアライナー MA-1200A-品番-MA-1200A

MA-1200A

要見積もり

φ2",φ3",φ4" and max.φ6" カット基板にも対応

φ5" and max.φ7"

ANUAL ALIGNMENTパルサまたはジョグスイッチにてアライメントステージを手動で操作しマスク側のアライメントマークに基板側のアライメントマークを合わせる

1 to 200 μm (Servo motor) 設定分解能: 1μm

L & S: 4μm (ポジレジスト膜厚 1μm, ソフトコンタクト)

Super high-pressure UV-lamp: 500 W

Main body: W 750 x D 1,050 x H 1,710 mmMain body: 400 kg

フィルターに該当する他製品

半導体露光装置の中で同じ条件の製品
ワークサイズ: 100 - 200mm

フィルターから探す

半導体露光装置をフィルターから探すことができます

光源波長 nm

300 - 400 400 - 500 500 - 600

最小露光線幅 μm

0 - 10 10 - 20 20 - 40

ワークサイズ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300

露光領域 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150

ステージ

手動XYZθステージ 電動XYZθステージ 5軸ステージ

重量 kg

0 - 50 50 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 1,300

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この商品の取り扱い会社情報

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企業レビュー

5.0

会社概要

株式会社菱光社は、1947年に設立された精密測定機器等を販売する専門商社です。

創業当初は、発電機、自転車等の重工関連の販売を行っていましたが、1950年ごろ、ニコンの投影機一型の代理店となったことから...

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  • 本社所在地: 東京都
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