露光装置セミオートアライナー MA-1200A
株式会社菱光社

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この製品について

■特長・他品種・小ロット生産や実験・研究に最適な手動露光装置。 (有効露光範囲φ6 inch) 
・フットプリントを縮小することで省スペースを実現。座っての作業も可能。
・独自のミラー・レンズ光学系と高速画像処理を搭載。単眼アライメントも可能。裏面アライメント機能搭載可能
・4つの露光モードに対応。 (プロキシミティ，バキュームコンタクト，ハードコンタクト，ソフトコンタクト) 
・カット基板の露光が可能

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
露光装置セミオートアライナー MA-1200A

取扱企業
株式会社菱光社

カテゴリ

半導体製造

露光装置

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露光装置セミオートアライナー MA-1200A 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	基板サイズ	マスクサイズ	アライメント	ギャップ	解像力	光源	寸法・重量
	MA-1200A	要見積もり	φ2",φ3",φ4" and max.φ6" カット基板にも対応	φ5" and max.φ7"	ANUAL ALIGNMENTパルサまたはジョグスイッチにてアライメントステージを手動で操作しマスク側のアライメントマークに基板側のアライメントマークを合わせる	1 to 200 μm (Servo motor) 設定分解能: 1μm	L & S: 4μm (ポジレジスト膜厚 1μm, ソフトコンタクト)	Super high-pressure UV-lamp: 500 W	Main body: W 750 x D 1,050 x H 1,710 mmMain body: 400 kg