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蛍光X線分析装置 ウエハ表面分析装置 K-TRX-K-TRX
蛍光X線分析装置 ウエハ表面分析装置 K-TRX-株式会社菱光社

蛍光X線分析装置 ウエハ表面分析装置 K-TRX
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この製品について

■概要

300mmまでのウエハに対応した全反射蛍光X線装置。半導体ウエハ等の金属汚染を評価する装置です。

■特長

測定元素Na～Uまでを対象とし、マッピング機能及びエッジ測定機能を搭載。新開発の角度調整機構により高スループットを実現しております。

■アプリケーション

プロセス前後の半導体ウエハ金属汚染確認。ガラス基板等のパーティクル系金属汚染確認。

■主な仕様

・多元素同時測定 NaからUまでの元素を同時に測定できます ・非破壊分析 X線による非破壊の測定です ・簡単測定 測定からレポート作成まで自動で可能 ・マッピング機能 面内汚染分布の測定が可能です ・エッジ測定 エッジ部の測定に対応しています ・高スループット 新開発の角度調整機構により、高スループットを実現 ・低ランニングコスト 封入型X線管球と窒素レスX線検出器の組合せ ・省スペース サイズ約2.4m2?/ ～12インチウエハ対応

  • シリーズ

    蛍光X線分析装置 ウエハ表面分析装置 K-TRX

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2025年6月18日にレビュー済み

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すぐに本部からご連絡をいただいてすぐに担当地域営業所からもご案内、詳細な使用状況のヒアリングに来ていただけることになり、検討に費やす時間が短縮できそうです。

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希望の製品が取扱い対象外とのことで話は進みませんでしたが、とても早くご回答いただきました。ありがとうございました。

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蛍光X線分析装置 ウエハ表面分析装置 K-TRX 品番1件

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蛍光X線分析装置 ウエハ表面分析装置 K-TRX-品番-K-TRX

K-TRX

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使用用途

#元素分析 #構造解析 #研究開発 #マッピング #異物検出 #微小部測定 #粉末試料 #薄膜

検出器

FPD HPC検出器 シリコンドリフト検出器

測定可能なq範囲 nm-1

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会社概要

株式会社菱光社は、1947年に設立された精密測定機器等を販売する専門商社です。

創業当初は、発電機、自転車等の重工関連の販売を行っていましたが、1950年ごろ、ニコンの投影機一型の代理店となったことから...

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