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蛍光X線分析装置 ウエハ表面分析装置 K-TRX-株式会社菱光社

蛍光X線分析装置 ウエハ表面分析装置 K-TRX
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この製品について

■概要

300mmまでのウエハに対応した全反射蛍光X線装置。半導体ウエハ等の金属汚染を評価する装置です。

■特長

測定元素Na～Uまでを対象とし、マッピング機能及びエッジ測定機能を搭載。新開発の角度調整機構により高スループットを実現しております。

■アプリケーション

プロセス前後の半導体ウエハ金属汚染確認。ガラス基板等のパーティクル系金属汚染確認。

■主な仕様

・多元素同時測定 NaからUまでの元素を同時に測定できます ・非破壊分析 X線による非破壊の測定です ・簡単測定 測定からレポート作成まで自動で可能 ・マッピング機能 面内汚染分布の測定が可能です ・エッジ測定 エッジ部の測定に対応しています ・高スループット 新開発の角度調整機構により、高スループットを実現 ・低ランニングコスト 封入型X線管球と窒素レスX線検出器の組合せ ・省スペース サイズ約2.4m2?/ ～12インチウエハ対応

  • シリーズ

    蛍光X線分析装置 ウエハ表面分析装置 K-TRX

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株式会社菱光社は、1950年に設立された精密測定機器等を販売する専門商社です。 創業当初は、発電機、自転車等の重工関連の販売を行っていましたが、1950年ごろ、ニコンの投影機一型の代理店となったことから、光学、精密測定...

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