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接触式形状測定装置 全自動微細形状測定機 サーフコーダ ET5000A-ET5000A
接触式形状測定装置 全自動微細形状測定機 サーフコーダ ET5000A-株式会社菱光社

接触式形状測定装置 全自動微細形状測定機 サーフコーダ ET5000A
株式会社菱光社



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この製品について

■概要

精度・安定性・機能性抜群で、FPD基板・ウエハー・ハードディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に最適な全自動微細形状測定機です。

■特長

・高精度高さ再現性 1σ=0.5nm以内 ・垂直アクチュエーター機構採用※テコの原理でない ・低測定力 最小0.5μN~

  • シリーズ

    接触式形状測定装置 全自動微細形状測定機 サーフコーダ ET5000A

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接触式形状測定装置 全自動微細形状測定機 サーフコーダ ET5000A 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 接触式/非接触式 方式 最大サンプルサイズ 再現性 測定可能範囲 分解能 測定力
接触式形状測定装置 全自動微細形状測定機 サーフコーダ ET5000A-品番-ET5000A

ET5000A

要見積もり

接触式

垂直アクチェエーター方式

920×730mm
厚さ 50mm

1σ 1nm以内
(ステージ中央)

Z:100μm
X:200mm
Y:1,000mm電動

Z:0.1nmX:0.1μm

0.5μN~500μN

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社菱光社は、1950年に設立された精密測定機器等を販売する専門商社です。 創業当初は、発電機、自転車等の重工関連の販売を行っていましたが、1950年ごろ、ニコンの投影機一型の代理店となったことから、光学、精密測定...

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  • 本社所在地: 東京都
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