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ACTRANSシリーズ ウエハ搬送ロボット-ウエハ搬送ロボット
ACTRANSシリーズ ウエハ搬送ロボット-株式会社ダイヘン

ACTRANSシリーズ ウエハ搬送ロボット
株式会社ダイヘン

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半導体・フラットパネルディスプレイ製造分野での搬送に。高い信頼性で応えるダイヘンのクリーン搬送ロボット

■ウエハ搬送ロボット「ACTRANS」シリーズ

クリーン搬送ロボットの分野において、共に20年の歴史を持つダイヘンとMECS。長きに渡り市場で高い評価を得てきた2社の技術が融合し誕生した「ACTRANS」シリーズは、お客様の幅広いニーズに対応し最適なソリューションを提供いたします。

■フラットパネル搬送ロボット「SPR」シリーズ

FPD製造プロセスでは、大型のパネルを高速かつ高精度に搬送する必要があります。ダイヘンでは、3Dモデルによる構造解析で軽量・高剛性なアームを採用。更にモーターや制御系の最適化により高速かつ安定した搬送を実現していますまた、CVD装置などの高温環境下で使用されるロボットについては、熱分布解析を行い最適な耐熱ソリューションを提供しています。

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    ACTRANSシリーズ ウエハ搬送ロボット

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使用用途

#半導体製造 #液晶製造 #クリーンルーム管理 #医療機関 #自動搬送 #表面清掃

クリーン度

Class 1 Class 2 Class 3

可搬質量 kg

0 - 1 1 - 5 5 - 10

繰り返し精度 mm

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2

ロボット形状

2軸円筒座標形 3軸円筒座標形 4軸円筒座標形

本体質量 kg

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000

定格電圧 V

0 - 50 50 - 250

運転時間 時間

0 - 2 2 - 4 4 - 6 6 - 10 10 - 15 15 - 20

清掃幅 mm

0 - 400 400 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000

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会社概要

株式会社ダイヘンは、変圧器や溶接機、産業用ロボット、半導体製造装置用高周波電源など産業用製品の開発を手掛けるメーカーです。 1919年に創立し、1961年には東証一部に上場、国内外に多くの拠点を持ちます。 近年では再生可...

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  • 本社所在地: 大阪府

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