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高性能セミオートプローバー TS2000-SE-TS2000-SE
高性能セミオートプローバー TS2000-SE-緑屋電気株式会社

高性能セミオートプローバー TS2000-SE
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この製品について

TS2000-SEは高性能、超低ノイズ、高精度でありながらテストコスト削減のもとに設計された高いパフォーマンスを持つセミオートプローバーです。微小電流測定、高い信頼性のDC/IV測定、1/f測定、RF測定,パワーデバイス測定などすべてにおいて最高のパフォーマンスを発揮します。 ShielDEnvironment™により、優れたシールド環境下で最大60℃から300℃での温調試験が可能です。チップサイズから最大8インチウェハまで対応しております。

■ShielDEnvironment™

ShielDEnvironment™は優れたEMI対策、RFI対策、遮光に優れた高性能チャンバー構造であり、超低ノイズ、低リークにより最高の測定環境を構築します。

■ShielDCap™

ShielDEnviroment に完全対応しており、RFなら4ポート、DC,ケルビンなら8ポートまで搭載可能です。取り付け取り外しが容易にでき、作業効率の向上を図ります。

■シングルウェハローダー

100mm,150mm,200mmのウェハを自動でロード、アンロードを行う簡易ローダーが搭載されております。ウェハのローディングを簡単、正確に行います。

■セーフティーテストマネジメント

独自のセーフティーテストマネジメントシステムにより、安全な測定をお約束いたします。温調システムを使用している場合は、任意の温度設定にてシステムドアのロックを制御し、温調中や測定中の誤操作によるドア開放を防ぎます。冷却時、エアフローが不足している場合は、チャックを自動的に安全モードにし、可能な限り露点以上に加熱します。

■hot/cold ウェハスワップ

自動化されたシングルウェハローダーと安全管理のもと、チャック設定温度でのウェハロード/アンロードが可能です。ウェハのロード・アンロードの為に周囲温度まで変更する必要はありません。ダウンタイムの削減と効率の向上を図ります。

■ERSエアクールテクノロジー

冷却液を使用しないERS AC3エアクールシステムにより、低コストで高精度な冷却が可能です。

  • シリーズ

    高性能セミオートプローバー TS2000-SE

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対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1100

タイプ

12インチ対応タイプ 標準タイプ SOIウエハ対応タイプ マニュアル測定タイプ

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会社概要

緑屋電気株式会社は、東京都中央区に本社を置く企業である。事業内容は、電子部品、FA分野の制御機器、防衛・衛星用機器、計測機器、照明・空調設備、セキュリティ機器、化学材料、情報・産業用機器の取り扱い、及び、国際業務セミカス...

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