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マニュアルプローバー TS150-TS150
マニュアルプローバー TS150-緑屋電気株式会社

マニュアルプローバー TS150
緑屋電気株式会社

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この製品について

ベクターセミコンのMXシリーズがさらなる進化を遂げ、様々な用途でお使いいただけるようになりました。直感的な操作、簡単で便利、高精度な測定を特徴としたマニュアルプロービングシステムです。チップサイズから6インチウェハサイズまで対応。室温から300℃までの温調システムを搭載可能です。防振台、ダークボックス追加可能です。

■エアベアリングステージ

エアベアリング方式でステージを軽く、素早く、簡単に移動することができます。25×25mmXYとθ移動にマイクロメーターを使用しさらに細かく正確に動作可能です。

■プラテンリフトレバー

測定精度はプローブコンタクト精度に依存します。ポジショナーベース (プラテン) 位置をサイドレバーで、プローブコンタクトポジション、プローブセパレートポジション (300μm) 、ローディングポジション (3mm) を正確にコントロール可能です。ウェハー破損を防止するセーフティロックが付いております。

■プラテンハイトスケール

ポジショナーベース (プラテン) は20mmの高さ調整が可能であり、さまざまなアプリケーションに対応します。

■コンパクトで剛性の高いプラテン

最大10個のDCポジショナーもしくは最大4個のRFポジショナーが搭載可能です。

■様々なチャックオプション

coaxチャック、triaxチャック、最大300℃までの温調システムなど、様々な仕様に対応するオプションを取り揃えております。 校正基板チャック RF測定には校正基板用のセラミックチャックを搭載可能です。

■様々な顕微鏡と顕微鏡ステージ

スタンダードな実体顕微鏡やズーム鏡筒、金属顕微鏡など、用途に合わせて光学機器や顕微鏡ステージを幅広く選択が可能です。

■顕微鏡チルト機構

顕微鏡90度チルト機構を標準装備、または空気圧駆動のリニアZリフトにより、非常に簡単なプローブ先端の交換やセットアップが可能です。

  • シリーズ

    マニュアルプローバー TS150

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マニュアルプローバー TS150 品番1件

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マニュアルプローバー TS150-品番-TS150

TS150

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対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1100

タイプ

12インチ対応タイプ 標準タイプ SOIウエハ対応タイプ マニュアル測定タイプ

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会社概要

緑屋電気株式会社は、東京都中央区に本社を置く企業である。事業内容は、電子部品、FA分野の制御機器、防衛・衛星用機器、計測機器、照明・空調設備、セキュリティ機器、化学材料、情報・産業用機器の取り扱い、及び、国際業務セミカス...

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